@inproceedings{CTT100930581, author = {飯間 翔太 and 栗岡 智行 and 菅野 翔太 and Chun Yi-Chen and Tso-Fu Mark Chang and 町田 克之 and 伊藤 浩之 and 三宅 美博 and 曽根 正人}, title = {微小圧縮試験による Ti/Au 積層膜上の電解金めっき膜の機械特性評価}, booktitle = {応用物理学会春季学術講演会}, year = 2025, }