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羽賀健一 研究業績一覧 (13件)
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国際会議発表 (査読有り)
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Ken-Ichi Haga,
Yuki Nakada,
Dan Ricinschi,
Eisuke Tokumitsu.
Characterization of In2O3 Channel Ferroelectric-Gate Thin Film Transistors,
International Thin-FilmTransistor Conference(ITC 2014),
Jan. 2014.
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Eisuke Tokumitsu,
Kei Sato,
Ken-Ichi Haga.
Fundamental Study on Thermal Nanoimprint Process for Oxide-channel Thin Film Transistor Fabrication,
Nanoinprint and Nanoprint Technology(the 12th International Conference on NNT 2013),
Oct. 2013.
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Ken-ichi Haga,
Eisuke Tokumitsu.
Fabrication and Characterization of An-Sn-O series oxide thin film transistors,
ITC 2012(8th International Thin-Film Transistor Conference),
Jan. 2012.
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Eisuke Tokumitsu,
Ken-ichi Haga,
Tomohiro Oiwa.
Fabrication of IGZO and In2O3-Channel Ferroelectric-Gate Thin Film Transistors,
2010 MRS Spring meeting, Materials Research Society,
Apr. 2010.
国内会議発表 (査読有り)
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清水貴也,
羽賀健一,
徳光永輔,
金田敏彦,
下田達也.
様々な液体原料を用いたIn-Zn-O薄膜の形成と薄膜トランジスタ応用,
薄膜材料デバイス研究会、第8回研究集会,
Nov. 2011.
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羽賀健一,
徳光永輔.
スパッタ法によるAl-Zn-Sn-O チャネルTFTの作製,
薄膜材料デバイス研究会、第7回研究集会,
6P34,
Nov. 2010.
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羽賀健一,
徳光永輔.
スパッタ法によるAl-Zn-Sn-OチャネルTFTの作製,
第71回応用物理学会学術講演会,
Sept. 2010.
国内会議発表 (査読なし・不明)
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羽賀健一,
徳光永輔.
a-In-Ga-Zn-O チャネル強誘電体ゲート薄膜トランジスタの作製,
第30回強誘電体応用会議(fma30),
pp. 25,
May 2013.
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羽賀健一,
大岩朝洋,
徳光永輔.
IGZOおよびIn2O3をチャネルに用いた強誘電体ゲートTFTの作製,
薄膜材料デバイス研究会 第六回研究集会,
3P40,
Nov. 2009.
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近藤洋平,
大岩朝洋,
羽賀健一,
徳光永輔.
Bi1.5Zn1.0b1.5O7をゲート絶縁膜に用いた酸化物チャネル薄膜トランジスタの作製,
第56回 応用物理学関係連合会講演会,
第56回 応用物理学関係連合会講演会,
31p-ZH-12/Ⅱ,
Mar. 2009.
学位論文
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酸化物半導体の強誘電体メモリ応用と液体プロセスに関する研究,
審査の要旨,
博士(工学),
東京工業大学,
2014/09/25,
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酸化物半導体の強誘電体メモリ応用と液体プロセスに関する研究,
論文要旨,
博士(工学),
東京工業大学,
2014/09/25,
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酸化物半導体の強誘電体メモリ応用と液体プロセスに関する研究,
本文,
博士(工学),
東京工業大学,
2014/09/25,
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