論文

• Masaki Otomo, Masaya Hamada, Ryo Ono, Iriya Muneta, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Hitoshi Wakabayashi. Chemical states of PVD-ZrS2 film underneath scaled high-k film with self-oxidized ZrO2 film as interfacial layer, Japanese Journal of Applied Physics, IOP Publishing, Vol. 62, p. SC1015, Jan. 2023.  公式リンク  
  
• Ryo Ono, Shinya Imai, Yuta Kusama, Takuya Hamada, Masaya Hamada, Iriya Muneta, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Emi Kano, Nobuyuki Ikarashi, Hitoshi Wakabayash. Elucidation of PVD MoS2 Film Formation Process and its Structure Focusing on Sub-Monolayer Region, Japanese Journal of Applied Physics (JJAP), Vol. 61, Feb. 2022.

国際会議発表 (査読有り)

• Shinya Imai, Ryo Ono, Iriya Muneta, Kuniyuki Kakushima, Tetsuya Tatsumi, Shigetaka Tomiya, Kazuo Tsutsui, Hitoshi Wakabayashi. Grain-Size Enlargement of MoS2 Film by Low-Rate Sputtering with Molybdenum Grid, IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM), Mar. 2023.  公式リンク  
  
• Ryo Ono, Shinya Imai, Takamasa Kawanago, Iriya Muneta, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Tetsuya Tatsumi, Shigetaka Tomiya, Hitoshi Wakabayashi. Improvement of MoS2 Film Quality by Solid-Phase Crystallization from PVD Amorphous MoSx Film, IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM), Mar. 2023.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 武田 高志, 小野 凌, 草間 優太, 狩野 絵美, 宗田 伊理也, 若林 整, 五十嵐 信行. スパッタ成膜MoS2の基板上での原子分解能電子顕微鏡観察, 第84回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2023.
• 今井 慎也, 小野 凌, 宗田 伊理也, 角嶋 邦之, 辰巳 哲也, 冨谷 茂隆, 筒井 一生, 若林 整. MoS2膜質のスパッタ成膜レート依存性調査, 第83回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2022.
• 小野 凌, 今井 慎也, 宗田 伊理也, 角嶋 邦之, 筒井 一生, 若林 整. 微結晶MoS2膜への硫黄雰囲気アニールによる結晶性向上, 第83回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2022.

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