@inproceedings{CTT100903423,
  author = {小松原 理央 and 玉田 耕治 and 平田 祐樹 and 大竹 尚登 and 赤坂 大樹},
  title = {ネオジウム磁石を用いたマグネトロンスパッタリング源からの アモルファス炭素膜の作製},
  booktitle = {2023年 第84回応用物理学会 秋季学術講演会要旨集},
  year = 2023,
}