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坂本敏郎 研究業績一覧 (5件)
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国際会議発表 (査読有り)
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Inho Song,
Yasunori Kobayashi,
Toshiro Sakamoto,
Smruti R. Mohanty,
Masato Watanabe,
Akitoshi Okino,
Tohru Kawamura,
Koichi Yasuoka,
Kazuhiko Horioka,
Eiki Hotta.
Performance of a Gas Jet Type Z-Pinch EUV Light Source,
International Conference on Miro- and Nano-Engineering,
31st International Conference on Micro- Nano-Engineering,
pp. 3-b-05,
Sept. 2005.
国内会議発表 (査読有り)
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Naoya Iizuka,
Toshiro Sakamoto,
Yasunori Kobayashi,
Inho Song,
Smruti R. Mohanty,
Masato Watanabe,
AKITOSHI OKINO,
Eiki Hotta.
Optimization of a gas jet-type Z-pinch discharge EUV light source,
平成18年度日本分光学会春季講演会・シンポジウム,
日本分光学会,
May 2006.
国内会議発表 (査読なし・不明)
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岸望,
飯塚直哉,
坂本敏郎,
宋仁皓,
小林靖典,
S.R. Mohanty,
渡辺正人,
沖野晃俊,
堀田栄喜.
同軸二重ノズル型電極を用いたEUV光源の出力特性,
平成18年電気学会基礎・材料・共通部門大会,
平成18年電気学会基礎・材料・共通部門大会(CD-ROM),
pp. 259,
Aug. 2006.
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渡邊正人,
宋仁皓,
小林靖典,
坂本敏郎,
S.R.Mohanty,
沖野晃俊,
堀岡一彦,
堀田栄喜.
同軸ノズル型電極を用いた放電プラズマからのEUV発光特性,
応用物理学会秋季講演会,
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集,
No. 2,
pp. 582,
Sept. 2005.
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渡邊正人,
宋仁皓,
小林靖典,
坂本敏郎,
S.R.Mohanty,
沖野晃俊,
堀岡一彦,
堀田栄喜.
同軸ノズル型電極を用いた放電プラズマからのEUV発光特性,
応用物理学会秋季講演会,
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集,
No. 2,
pp. 582,
Sept. 2005.
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