@article{CTT100675390,
  author = {鍵直樹 and 藤井修二 and 湯浅和博 and 田中克昌},
  title = {有機物質のシリコンウェハ表面の吸着特性と水分の影響 クリーンルーム内のガス状有機物質に関する研究},
  journal = {日本建築学会計画系論文集},
  year = 1999,
}

@article{CTT100675388,
  author = {鍵直樹 and 藤井修二 and 湯浅和博 and 藪本周邦 and 田中克昌},
  title = {Siウェハ表面における有機ガスの吸着機構},
  journal = {エアロゾル研究},
  year = 1998,
}