論文

• 鍵直樹, 藤井修二, 湯浅和博, 田中克昌. 有機物質のシリコンウェハ表面の吸着特性と水分の影響 クリーンルーム内のガス状有機物質に関する研究, 日本建築学会計画系論文集, 社団法人 日本建築学会, Vol. No.517, No. 517, pp. 53-57, Mar. 1999.
• 鍵直樹, 藤井修二, 湯浅和博, 藪本周邦, 田中克昌. Siウェハ表面における有機ガスの吸着機構, エアロゾル研究, 日本エアロゾル学会, Vol. 13, No. 2, pp. 142-148, June 1998.

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