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永田晃基 研究業績一覧 (2件)
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国内会議発表 (査読なし・不明)
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中山寛人,
日野雅文,
永田晃基,
小瀬村大亮,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
杉井信之,
小椋厚志,
服部健雄,
岩井洋.
As注入とSiN応力膜によるpoly-Siへの歪記憶の検討,
第56回応用物理学関係連合講演会,
第56回応用物理学関係連合講演会予稿集,
応用物理学会,
No. 2,
pp. 869,
Mar. 2009.
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中山寛人,
日野雅文,
服部健雄,
杉井信之,
筒井一生,
パールハットアヘメト,
角嶋邦之,
小椋厚志,
永田 晃基,
吉田 哲也,
小瀬村大亮,
岩井洋.
Ar注入とSiN応力膜によるパターン付Si基板への歪記憶技術の検討,
秋季第69回応用物理学会学術講演会,
応用物理学会,
応用物理学会,
No. 2,
pp. 743,
Sept. 2008.
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