@article{CTT100615263,
  author = {伊藤隆司 and 杉野林志 and 石川健治},
  title = {ライ洗浄技術―半導体製造―},
  journal = {精密工学会誌},
  year = 2004,
}

@article{CTT100634588,
  author = {伊藤隆司 and 杉野林志 and 石川健治},
  title = {ドライ洗浄技術―半導体製造―},
  journal = {精密工学会誌},
  year = 2004,
}