@inproceedings{CTT100632921, author = {藤原 亮 and 山島篤志 and 高橋邦夫 and 齋藤滋規}, title = {表面導電性を考慮した微小誘電体静電マニピュレーション信頼性の向上}, booktitle = {2010年度精密工学会春季ん大会論文集}, year = 2010, }