@inproceedings{CTT100772386, author = {金 俊完 and 佐藤 慧一 and 吉田 和弘 and 青木 弘良 and 山形 豊}, title = {静電レンズを用いたエレクトロスプレーデポジション(ESD)法によるマイクロパターニング}, booktitle = {日本機械学会 2018年度年次大会DVD論文集}, year = 2018, }