論文

• Yoshiyuki Honda, Tatsuya Yanagida, Yutaka Shiraishi, Masayuki Morita, Masahiko Andou, Hiroaki Tomuro, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto. Surface morphology change of protective film on collector mirror related to implantation of Sn emitted from laser produced plasma in EUV light source, Applied Physics Express, IOP Publishing, Volume 13, Number 11, Oct. 2020.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 本田 能之, 柳田 達哉, 白石 裕, 森田 昌幸, 安藤 正彦, 戸室 啓明, 松田 晃史, 吉本 護. EUV光源コレクターミラーの保護膜における劣化メカニズムの解明, 第80回 応用物理学会 秋季学術講演会, 応用物理学会, Sept. 2019.  公式リンク  
  

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