@inproceedings{CTT100639054, author = {松下 光樹 and 間宮 啓介 and 中川 茂樹}, title = {Fe系酸化物スパッタ膜の配向制御と結晶性向上}, booktitle = {紛体粉末冶金協会講演概要集 平成24年度春季大会}, year = 2012, }