@inproceedings{CTT100879547, author = {村井祥祐 and 桃園 聡 and 青野祐子 and 平田 敦}, title = {カーボンオニオンにより超精密研磨した単結晶SiC面の加工変質層評価}, booktitle = {2022年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集}, year = 2022, } @inproceedings{CTT100843785, author = {村井祥祐 and 佐野龍樹 and 青野祐子 and 平田敦}, title = {異なる分子形状を有するカーボンオニオンの研磨性能比較}, booktitle = {第33回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集}, year = 2019, }