@article{CTT100807192,
  author = {Tatsuya Koga and Takashi Ichikawa and Naoto Tanaka and Taiki Ogata and Hiroki Ora and Daisuke Yamane and Noboru Ishihara and Hiroyuki Ito and Masato Sone and Katsuyuki Machida and Yoshihiro Miyake and Kazuya Masu},
  title = {High-Sensitivity Inertial Sensor Module to Measure Hidden Micro Muscular Sounds},
  journal = {IEEE Conference Paper},
  year = 2019,
}

@article{CTT100795920,
  author = {Ken Atsumi and Shota Otobe and Tatsuya Koga and Takashi Ichikawa and Daisuke Yamane and Shinichi Iida and Hiroyuki Ito and Noboru Ishihara and Masato Sone and Katsuyuki Machida and Kazuya Masu},
  title = {Pillar-Shaped Electrodes for 3-axis Gold-Proof-Mass MEMS Capacitive Accelerometers},
  journal = {IEEE Conference Paper},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100842072,
  author = {市川 崇志 and 古賀 達也 and 飯田 慎一 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉 and 伊藤 浩之},
  title = {単一 Au 錘 3 軸加速度センサのための分割容量検出 2 重電極に関する検討},
  booktitle = {},
  year = 2021,
}

@inproceedings{CTT100842067,
  author = {市川 崇志 and 内山晃宏 and 古賀 達也 and 町田 克之 and 石原昇 and 益 一哉 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之},
  title = {100 nG/√Hz レベルを目指した分割 2 重電極を有する単一Au錘 3 軸 MEMS 加速度センサの検討},
  booktitle = {},
  year = 2020,
}

@inproceedings{CTT100842066,
  author = {内山晃宏 and 市川 崇志 and 古賀 達也 and 町田 克之 and 益 一哉 and 石原昇 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之},
  title = {Au錘一軸MEMS加速度センサの差動容量型電極構造の検討},
  booktitle = {},
  year = 2020,
}

@inproceedings{CTT100842065,
  author = {柴田滉平 and 市川 崇志 and 古賀 達也 and 町田 克之 and 益 一哉 and 石原昇 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之},
  title = {高分解能単一Au 錘CMOS-MEMS 加速度センサの検討},
  booktitle = {},
  year = 2020,
}

@inproceedings{CTT100842063,
  author = {Takashi Ichikawa and Kohei Shibata and Tatsuya Koga and Katsuyuki Machida and Shinichi Iida and Noboru Ishihara and Kazuya Masu and Hiroyuki Ito},
  title = {A High Resolution Single Gold Proof-Mass CMOS-MEMS Accelerometer},
  booktitle = {},
  year = 2020,
}

@inproceedings{CTT100842069,
  author = {内山晃宏 and 市川 崇志 and 古賀達也 and 飯田慎一 and 石原昇 and 町田克之 and 益一哉 and 伊藤浩之},
  title = {マイクロGレベルセンシングのための金錘1軸差動容量型MEMS加速度センサ},
  booktitle = {},
  year = 2020,
}

@inproceedings{CTT100842068,
  author = {市川崇志 and 渥美賢 and 古賀達也 and 飯田慎一 and 石原昇 and 町田克之 and 益一哉 and 伊藤浩之},
  title = {100 nG/√Hzレベルを目指したピラー型電極を有する単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討},
  booktitle = {},
  year = 2020,
}

@inproceedings{CTT100842064,
  author = {Takashi Ichikawa and Ken Atsumi and Tatsuya Koga and Daisuke Yamane and Shin-ichi Iida and Hiroyuki Ito and Noboru Ishihara and Katsuyuki Machida and Kazuya Masu},
  title = {A 100-nG/√Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-Axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped electrodes},
  booktitle = {},
  year = 2020,
}

@inproceedings{CTT100816076,
  author = {渥美 賢 and 古賀 達也 and 市川 崇志 and 山根 大輔 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討},
  booktitle = {},
  year = 2020,
}

@inproceedings{CTT100816077,
  author = {市川 崇志 and 渥美 賢 and 古賀 達也 and 山根 大輔 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討},
  booktitle = {},
  year = 2020,
}

@inproceedings{CTT100816075,
  author = {Tatsuya Koga and Takashi Ichikawa and Daisuke Yamane and Shinichi Iida and Noboru Ishihara and Hiroyuki Ito and Katsuyuki Machida and Kazuya Masu},
  title = {A Gold Proof-Mass Differential MEMS Accelerometer for Micro-G Level Sensing},
  booktitle = {},
  year = 2020,
}

@inproceedings{CTT100809252,
  author = {古賀 達也 and 市川 崇志 and 田中 直登 and 緒方 大樹 and 大良 宏樹 and 山根 大輔 and 石原 昇 and 伊藤 浩之 and 曽根 正人 and 町田 克之 and 三宅 美博 and 益 一哉},
  title = {微弱筋音計測に向けた高分解能MEMS慣性センサモジュールの検討},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100809253,
  author = {市川 崇志 and 古賀 達也 and 山根 大輔 and 飯田 慎一 and 石原 昇 and 伊藤 浩之 and Chang Tso-Fu Mark and 曽根 正人 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {積層メタル技術で作製したMEMS加速度センサの衝撃特性評価},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100809254,
  author = {市川 崇志 and 乙部 翔太 and 渥美 賢 and 古賀 達也 and 山根 大輔 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 曽根 正人 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {3Dピラー型Au錘MEMS加速度センサ},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100811731,
  author = {伊藤浩之 and 古賀達也 and 市川崇志 and 山根大輔 and 石原昇 and 三宅美博 and 町田克之 and 益一哉},
  title = {兆し計測のための高感度MEMS加速度センサ技術},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100807194,
  author = {市川 崇志 and 乙部 翔太 and 渥美 賢 and 古賀 達也 and 山根 大輔 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 町田 克之 and 曽根 正人 and 益 一哉},
  title = {Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討 (2)},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100800103,
  author = {市川 崇志 and 新島 宏文 and 古賀 達也 and 山根 大輔 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 曽根 正人 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100790673,
  author = {渥美 賢 and 乙部 翔太 and 古賀 達也 and 市川 崇志 and 山根 大輔 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 曽根 正人 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {積層メタル技術によるピラー型容量検出電極の検討},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100790677,
  author = {乙部 翔太 and 渥美 賢 and 古賀 達也 and 山根 大輔 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 曽根 正人 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100790674,
  author = {市川 崇志 and 新島 宏文 and 古賀 達也 and 山根 大輔 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 曽根 正人 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {3軸Au錘MEMS加速度センサにおける平行平板型電極の検討},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100782446,
  author = {Daisuke Yamane and Shota Otobe and Ken Atsumi and Tatsuya Koga and Toshifumi Konishi and Teruaki Safu and Shinichi Iida and Hiroyuki Ito and Noboru Ishihara and Katsuyuki Machida and Kazuya Masu},
  title = {A 3-D PARALLEL-PLATE MEMS ACCELEROMETER WITH A GOLD PROOF MASS},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100777398,
  author = {Shota Otobe and Tatsuya Koga and Ken Atsumi and Daisuke Yamane and Toshifumi Konishi and Teruaki Safu and Shin-ichi Iida and Hiroyuki. Ito and Noboru Ishihara and Katsuyuki Machida and Kazuya Masu},
  title = {A Sub-1mG Tri-Axis MEMS Accelerometer with Multiple Segmented Capacitance Detection Electrodes},
  booktitle = {},
  year = 2018,
}

@inproceedings{CTT100775374,
  author = {市川 崇志 and 新島 宏文 and 古賀 達也 and 山根 大輔 and 小西 敏文 and 佐布 晃昭 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {Au単一錘平行平板型3軸MEMS加速度センサの検討},
  booktitle = {},
  year = 2018,
}

@inproceedings{CTT100775377,
  author = {古賀 達也 and 山根 大輔 and 小西 敏文 and 佐布 晃昭 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討},
  booktitle = {},
  year = 2018,
}

@inproceedings{CTT100760808,
  author = {古賀 達也 and 高安 基大 and 山根 大輔 and 伊藤 浩之 and 小西 敏文 and 道正 志郎 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討(2)},
  booktitle = {},
  year = 2018,
}

@inproceedings{CTT100760797,
  author = {高安 基大 and 古賀 達也 and 辻 一平 and 伊藤 浩之 and 山根 大輔 and 道正 志郎 and 小西 敏文 and 飯田 慎一 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {傾斜を用いた1mG MEMS加速度センサの分解能評価の検討},
  booktitle = {},
  year = 2018,
}

@inproceedings{CTT100755389,
  author = {古賀 達也 and 辻 一平 and 高安 基大 and 伊藤 浩之 and 山根 大輔 and 道正 志郎 and 小西 敏文 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討},
  booktitle = {},
  year = 2017,
}

@inproceedings{CTT100752532,
  author = {古賀 達也 and 辻 一平 and 高安 基大 and 伊藤 浩之 and 山根 大輔 and 道正 志郎 and 小西 敏文 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {積層メタル技術によるMEMS慣性センサの傾斜時感度特性の検討},
  booktitle = {},
  year = 2017,
}