@inproceedings{CTT100597632, author = {濱田裕史 and 久保田晃司 and 水本哲弥}, title = {シャドウマスクを用いた縦テーパ導波路の形成}, booktitle = {2009年秋季第69回応用物理学会講演会講演論文集}, year = 2009, }