@article{CTT100852141, author = {Hiroyuki Morita and Takumi Matsushima and Kisho Nakamura and Kenta Kaneko and Satoru Kaneko and Akifumi Matsuda and Mamoru Yoshimoto}, title = {Solid-phase epitaxial crystallization of β-Ga2O3 thin film by KrF excimer laser irradiation from backside of NiO (111)-buffered α-Al2O3 (0001) substrate at room temperature}, journal = {Journal of Vacuum Science & Technology A}, year = 2021, } @inproceedings{CTT100772011, author = {Akifumi Matsuda and Kisho Nakamura and Hiroyuki Morita and Nobuo Tsuchimine and Osami Sakata and Satoru Kaneko and MAMORU YOSHIMOTO}, title = {Physicochemical Effect of Buffer Layer on β-Ga2O3 Solid-Phase Epitaxy by Excimer Laser Annealing}, booktitle = {}, year = 2018, } @inproceedings{CTT100771918, author = {森田公之 and 中村稀星 and 土嶺信男 and 金子 智 and 松田 晃史 and 吉本 護}, title = {Ga2O3薄膜の室温下レーザー照射固相エピタキシーにおける膜厚や緩衝層の影響}, booktitle = {}, year = 2018, } @inproceedings{CTT100771920, author = {岩佐健 and 木下太一郎 and 中村稀星 and 金子 智 and 松田 晃史 and 吉本 護}, title = {原子ステップ型超平坦ポリマー基板上でのフレキシブル酸化物p/n薄膜の作製と特性評価}, booktitle = {}, year = 2018, } @inproceedings{CTT100771919, author = {山田志織 and 後藤里紗 and 木下太一郎 and 中村稀星 and 金子 智 and 松田 晃史 and 吉本 護}, title = {原子ステップを有するポリマーシートへの超平坦導電性薄膜の作製}, booktitle = {}, year = 2018, } @inproceedings{CTT100757538, author = {Akifumi Matsuda and Kisho Nakamura and Hiroyuki Morita and Nobuo Tsuchimine and Satoru Kaneko and Mamoru Yoshimoto}, title = {Solid-Phase Heteroepitaxy and Property Modification of β-Ga2O3 Thin Films by Room-Temperature Excimer Laser Annealing}, booktitle = {}, year = 2017, } @inproceedings{CTT100752516, author = {森田 公之 and 中村 稀星 and 土嶺 信男 and 金子 智 and 松田 晃史 and 吉本 護}, title = {周期的NiOナノ構造バッファ上におけるβ-Ga2O3薄膜のレーザー励起室温固相エピタキシー}, booktitle = {}, year = 2017, } @inproceedings{CTT100752505, author = {岩佐 健 and 木下 太一郎 and 中村 稀星 and 金子 智 and 松田 晃史 and 吉本 護}, title = {原子ステップ型ポリマー基板を用いた有機・無機ハイブリッド構造の作製}, booktitle = {}, year = 2017, } @inproceedings{CTT100752515, author = {中村 稀星 and 森田 公之 and 土嶺 信男 and 金子 智 and 松田 晃史 and 吉本 護}, title = {β-Ga2O3薄膜のレーザー励起室温固相エピタキシーに与えるサファイア基板上バッファ層の効果}, booktitle = {}, year = 2017, } @inproceedings{CTT100752495, author = {中村 稀星 and 内田 啓貴 and 土嶺 信男 and 金子 智 and 松田 晃史 and 吉本 護}, title = {室温レーザーアニールにより作製されたβ-Ga2O3エピタキシャル薄膜の配向性制御}, booktitle = {}, year = 2017, } @inproceedings{CTT100736078, author = {Akifumi Matsuda and daishi shiojiri and Hiroki Uchida and Kisho Nakamura and Nobuo Tsuchimine and Satoru Kaneko and MAMORU YOSHIMOTO}, title = {Buffer-induced room-temperature epitaxy of β-Ga2O3 thin films by excimer laser annealing}, booktitle = {}, year = 2016, } @inproceedings{CTT100736075, author = {Akifumi Matsuda and Daishi Shiojiri and Hiroki Uchida and Kisho Nakamura and Yanna Chen and Osami Sakata and Nobuo Tsuchimine and Satoru Kaneko and Mamoru Yoshimoto}, title = {Buffer-Layer Enhanced Heteroepitaxy of β-Ga2O3:(Sn, Si) Thin Films by Room-Temperature Excimer Laser Annealing}, booktitle = {}, year = 2016, } @inproceedings{CTT100715969, author = {内田啓貴 and 中村稀星 and 土嶺信男 and 小山浩司 and 金子智 and 松田晃史 and 吉本護}, title = {レーザーアニールによる不純物ドープβ-Ga2O3薄膜の低温固相エピタキシャル結晶化}, booktitle = {第77回 応用物理学会 秋季学術講演会 講演予稿集}, year = 2016, } @inproceedings{CTT100715982, author = {中村稀星 and 内田啓貴 and 土嶺信男 and 小山浩司 and 金子智 and 松田晃史 and 吉本護}, title = {室温レーザーアニールによるβ-Ga2O3薄膜の固相エピタキシーに与えるNiOバッファ層の影響}, booktitle = {第77回 応用物理学会 秋季学術講演会 講演予稿集}, year = 2016, }