@inproceedings{CTT100779974, author = {豊田 俊輔 and 森 伸介}, title = {ミスト原料を用いたプラズマプロセスによる酸化チタン薄膜の形成}, booktitle = {化学工学会第49回秋季大会講演予稿集}, year = 2017, }