@inproceedings{CTT100919974, author = {影山壮太郎 and 岡本一輝 and 安岡慎之介 and 上岡義弘 and 召田雅実 and 舟窪浩}, title = {MgSiN2薄膜の作製と特性評価}, booktitle = {}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100919855, author = {影山壮太郎 and 岡本一輝 and 安岡慎之介 and 舟窪浩}, title = {スパッタリング法によるAlN-(Mg, Si)N膜の作製とその特性評価}, booktitle = {}, year = 2024, }