@inproceedings{CTT100837919,
  author = {新井 真俊 and 松谷 晃宏 and 吉田 和弘 and 金 俊完},
  title = {深掘り反応性イオンエッチング（DRIE）における開口パターンの高アスペクト比形状への影響},
  booktitle = {山梨講演会 講演論文集},
  year = 2020,
}