Improved pumping speeds of oxygen-free palladium/titanium nonevaporable getter coatings and suppression of outgassing by baking under oxygen

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improved pumping speeds of oxygen-free palladium/titanium nonevaporable getter coatings and suppression of outgassing by baking under oxygen

著者

和文:	宮澤徹也, Yu Kano, 中山泰生, 小澤健一, Toshiharu Iga, Misao Yamanaka, Ayako Hashimoto, Takashi Kikuchi, 間瀬一彦.
英文:	Tetsuya Miyazawa, Yu Kano, Yasuo Nakayama, KENICHI OZAWA, Toshiharu Iga, Misao Yamanaka, Ayako Hashimoto, Takashi Kikuchi, Kazuhiko Mase.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Vacuum Science & Technology A

巻, 号, ページ

Vol. 37 No. 2

出版年月

2019年1月9日

出版者

和文:
英文:	AIP Publishing

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

公式リンク

DOI