国内会議発表 (査読なし・不明)

• 中川 茂樹, 横澤 諒, 飯田 大介, 高村 陽太, 中光 豊, 清田 哲司. スパッタＷ膜形成時の内部応力in-situ観測による成長機構解析, 2025年 第72回応用物理学会春期学術講演会, 16p-K504-10, Mar. 2025.
• 中川茂樹, 横澤諒, 飯田大介, 佐々木康宣, 高村陽太, 中光豊, 神保 武人. 高基板温度におけるスパッタ膜形成時の内部応力in-situ観測, 第85回 応用物理学会秋期学術講演会, 16a-C31-10, Sept. 2024.  公式リンク  
  

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