論文

• Kohei Shibata, Akihiro Uchiyama, Akira Onishi, Katsuyuki Machida, Parthojit Chakraborty, Shin-ichi Iida, Toshifumi Konishi, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Simplified Analytical Damping Constant Model for Design of MEMS Capacitive Accelerometer with Gold Perforated Proof-mass Structure, IEEE Sensors Journal, Vol. 22, Issue 15, June 2022.  公式リンク  
  
• Akira Onishi, Kohei Shibata, Akihiro Uchiyama, Katsuyuki Machida, Taiki Ogata, Noboru Ishihara, Hirotaka Uchitomi, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Suppressed Drift and Low-Noise Sensor Module with a Single-Axis Gold Proof-Mass MEMS Accelerometer for Micro Muscle Sound Measurement, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 61, p. SD1028, Mar. 2022.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読有り)

• Akihiro Uchiyama, Takasi Ichikawa, Kohei Shibata, Shinichi Iida, Sangyeop Lee, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito. A MEMS accelerometer with a single axis two proof masses for a wide detection range, Transducers, June 2021.
• Takasi Ichikawa, Akihiro Uchiyama, Kohei Shibata, Shinichi Iida, Sangyeop Lee, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito. A 3-D capacitive-detection electrode for a single gold proof-mass three-axis MEMS accelerometer, Inertial, Mar. 2021.

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 大西哲, 内山晃宏, 柴田滉平, 市川崇志, 李尚曄, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. 3次元容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討, 第13回集積化MEMSシンポジウム, Nov. 2021.
• 柴田滉平, 内山晃宏, 大西哲, 李尚曄, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 伊藤浩之. Au錘1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討, 第13回集積化MEMSシンポジウム, Nov. 2021.
• 内山晃宏, 柴田滉平, 大西哲, 市川崇志, 飯田慎一, 李尚曄, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. ワイドレンジAu錘1軸MEMS加速度センサの検討, 第13回集積化MEMSシンポジウム, Nov. 2021.
• 大西哲, 内山晃宏, 柴田滉平, 市川崇志, 李尚曄, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. 3D容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討, 第82回 応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2021.
• 柴田滉平, 内山晃宏, 大西哲, 李尚曄, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. 1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討, 令和3年度E部門総合研究会, July 2021.
• 内山晃宏, 市川崇志, 柴田滉平, 飯田慎一, 李尚曄, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. ワイドレンジ検出可能なAu錘1軸MEMS加速度センサ の検討, 応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2021.
• 内山晃宏, 市川 崇志, 古賀 達也, 町田 克之, 益 一哉, 石原昇, 飯田 慎一, 伊藤 浩之. Au錘一軸MEMS加速度センサの差動容量型電極構造の検討, 第12回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2020.
• 市川 崇志, 内山晃宏, 古賀 達也, 町田 克之, 石原昇, 益 一哉, 飯田 慎一, 伊藤 浩之. 100 nG/√Hz レベルを目指した分割 2 重電極を有する単一Au錘 3 軸 MEMS 加速度センサの検討, 第12回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2020.
• 内山晃宏, 市川 崇志, 古賀達也, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. マイクロGレベルセンシングのための金錘1軸差動容量型MEMS加速度センサ, 第81回 応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2020.

[ BibTeX 形式で保存 ]    [ 論文・著書をCSV形式で保存 ]    [ 特許をCSV形式で保存 ]