国際会議発表 (査読有り)

• Hirofumi Niijima, Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Novel Tri-Axis MEMS Accelerometer with a Single Au Proof Mass and Fully Differential Sensing Electrodes, The 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Nov. 2017.

国内会議発表 (査読有り)

• 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討, 令和元年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, pp. 67-72, July 2019.
• 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 3軸Au錘MEMS加速度センサにおける平行平板型電極の検討, 第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.
• 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. Au単一錘平行平板型3軸MEMS加速度センサの検討, 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）, Oct. 2018.
• 新島 宏文, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉. 静電容量型MEMSセンサにおけるブラウニアン・ノイズ評価手法の検討(2), 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 01am2-PLN-8, Oct. 2017.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉. 高感度MEMS加速度センサのBrownian Noise評価に関する検討, 第64回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2018.
• 新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 佐布 晃昭, 小西 敏文, 道正 志郎, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 単一Au錘3軸差動MEMS加速度センサの検討, 平成30年電気学会全国大会, Mar. 2018.

[ BibTeX 形式で保存 ]    [ 論文・著書をCSV形式で保存 ]    [ 特許をCSV形式で保存 ]