論文

• Yuki Onishi, Ryunosuke Yamashita, Kenji Amaya, Yoshihiko Hirai. Numerical analysis of pattern shape deformation in UV imprint considering thermal deformation with UV shrinkage and curing, Journal of Vacuum Science & Technology B, 2021.  公式リンク  
  
• Yuki Onishi, Ryunosuke Yamashita, Kenji Amaya, Yoshihiko Hirai. Numerical Analysis of Pattern Shape Deformation in UV Imprint Due to Curing Shrinkage, Journal of Photopolymer Science and Technology, Vol. 33, No. 2, pp. 245--250, May 2020.  公式リンク  
  
• Yuki Onishi, Ryunosuke Yamashita, Kenji Amaya, Yoshihiko Hirai. Numerical modeling method for UV imprint process simulation using thermoviscoelastic constitutive equations, Journal of Vacuum Science & Technology B, Vol. 37, No. 6, Oct. 2019.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読有り)

• Yuki Onishi, Ryunosuke Yamashita, Kenji Amaya, Yoshihiko Hirai. Resin Deformation Analysis in UV Imprint Considering UV Shrinkage, Thermal Deformation, and Thermochemical Kinetics, The 38th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-38), June 2021.
• R. Yamashita, Y. Onishi, K. Amaya, Y. Hirai. A Validation of UV Imprint Process Simulation using a Thermo-viscoelastic Constitutive Model, The 45th Micro & Nano Engineering Conference (MNE2019), Sept. 2019.
• Ryunosuke YAMASHITA, Yuki ONISHI, Kenji AMAYA. Numerical modeling method to reproduce UV imprint process using thermo-viscoelastic constitutive law, Micro & Nano Engineering Conference (MNE2018), Sept. 2018.

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 大西有希, 山下龍之介, 天谷賢治, 平井義彦. 反応速度論に基づくUV硬化収縮と熱変形を考慮したUVインプリントの形状変形解析, 第26回計算工学講演会, May 2021.
• 大西有希, 山下龍之介, 天谷賢治, 平井義彦. UVインプリントにおける硬化収縮によるパターン形状変形の数値解析, 第25回計算工学講演会, 第25回計算工学講演会論文集, June 2020.
• 渡辺謙太, 砂川弘樹, 山下龍之介, 安田雅昭, 大西有希, 川田博昭, 平井義彦. ナノインプリントにおけるレジスト収縮の補正(3D形状補正), 第66回 応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.

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