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中嶋薫 研究業績一覧 (1件)
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国内会議発表 (査読有り)
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野平博司,
白石 貴義,
高橋 健介,
柏木 郁未,
大島 千鶴,
大見俊一郎,
岩井洋,
城森 慎司,
中嶋 薫,
鈴木 基史,
木村 健二,
服部 健雄.
極薄希土類酸化膜/Si(100)界面構造(極薄ゲート絶縁膜・シリコン界面の評価技術・解析技術),
電子情報通信学会技術研究報告、SDM、シリコン材料・デバイス,
電子情報通信学会,
Vol. 103,
No. 149,
pp. 25-29,
June 2003.
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