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岡本一輝 研究業績一覧 (75件)
論文
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Nana Sun,
Kazuki Okamoto,
Shinnosuke Yasuoka,
Soshun Doko,
Naoko Matsui,
Toshikazu Irisawa,
Koji Tsunekawa,
Takayoshi Katase,
Tomoyuki Koganezawa,
Tomotaka Nakatani,
Rosantha Kumara,
Osami Sakata,
Hiroshi Funakubo.
High stability of the ferroelectricity against hydrogen gas in (Al,Sc)N thin films,
Appl. Phys. Lett.,
Vol. 125,
pp. 032904,
July 2024.
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Sou Yasuhara,
Ayato Nakagawa,
Kazuki Okamoto,
Takahisa Shiraishi,
Hiroshi Funakubo,
Shintaro Yasui,
Mitsuru Itoh,
Takaaki Tsurumi,
Takuya Hoshina.
Evaluation of ferroelectricity in a distorted wurtzite-type structure of Sc-doped LiGaO2,
RSC Adv,
14,
p. 13900,
May 2024.
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Yuxian Hu,
Rurika Kubota,
Kazuki Okamoto,
Takahisa Shiraishi,
Hiroshi Funakubo.
Orientation-controlled 500-nm-thick Ferroelectric PbTiO3 Films with Low Thermal Strain Directly Grown below Curie Temperature by Hydrothermal Method,
Cryst. Growth Des.,
vol. 24,
pp. 1389−1399,
Jan. 2024.
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Reika Ota,
Shinnosuke Yasuoka,
Ryoichi Mizutani,
Takahisa Shiraishi,
Kazuki Okamoto,
Kuniyuki Kakushima,
Tomoyuki Koganezawa,
Osami Sakata,
Hiroshi Funakubo.
Scalable ferroelectricity of 20-nm-thick (Al0.8Sc0.2)N thin films sandwiched between TiN electrodes,
J. Appl. Phys.,
vol. 134,
pp. 214103-1-6,
Dec. 2023.
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Lu You,
Ziwen Zhou,
Shun Wang,
Zhou Zhou,
Yiqi Hu,
Qiankun Li,
Jinshuo Xue,
Zhijian Feng,
Qingyu Yan,
Zhongshen Luo,
Yuyan Weng,
Rujun Tang,
Xiaodong Su,
fengang zheng,
Kazuki Okamoto,
Hiroshi Funakubo,
Lixing Kang,
Liang Fang.
Unconventional polarization fatigue in van der Waals layered ferroelectric ionic conductor CuInP2S6,
Nature Communications,
vol. 14,
pp. 8254,
Dec. 2023.
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Keisuke Ishihama,
Kazuki Okamoto,
Akinori Tateyama,
Takao Shimizu,
Wakiko Yamaoka,
Risako Tsurumaru,
Shintaro Yoshimura,
Yusuke Sato,
Hiroshi Funakubo.
Achieving High Piezoelectric Performance in Tetragonal (Bi,Na)TiO3-BaTiO3 Films Across a Wide Composition Range for MEMS Applications,
ACS Appl. Mater. Interfaces 2024,
vol. 16,
pp. 1308−1316,
Dec. 2023.
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Shinnosuke Yasuoka,
Ryoichi Mizutani,
Reika Ota,
Takahisa Shiraishi,
Takao Shimizu,
Kazuki Okamoto,
Masato Uehara,
Hiroshi Yamada,
Morito Akiyama,
Hiroshi Funakubo.
Invariant polarization switching kinetics in an (Al0.2Sc0.8)N film with frequency and temperature,
Appl. Phys. Lett.,
vol. 123,
pp. 202902,
Nov. 2023.
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Xueyou Yuan,
Kazuki Okamoto,
Mitsuki Kawano,
Masahito Yoshino,
Takanori Nagasaki,
Yasuhiko Imai,
Osami Sakata,
Tomoaki Yamada.
Extraordinarily Large Contribution Ratio of Ferroelastic Domain Switching to Piezoresponse in Monoclinic (K, Na)NbO3 Films,
Advanced Electronic Materials,
Oct. 2023.
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Miki Nakahata,
Kazuki Okamoto,
Keisuke Ishihama,
Tomoaki Yamada,
Hiroshi Funakubo.
In-situ X-ray diffraction analysis of intrinsic and extrinsic piezoelectric response in (100)/(001)-oriented tetragonal multidomain Pb(Zr,Ti)O3 films epitaxially grown on Si substrates,
Jpn. J. Appl. Phys.,
vol. 62,
no. SM,
pp. 1020-1-7,
Aug. 2023.
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Taichi Murashita,
Yuxian Hu,
Yuma Takahashi,
Reika Ota,
Kazuki Okamoto,
Hiroshi Funakubo.
Preparation of {100}-oriented (1-x)(Bi,K)TiO3-xCaTiO3 solid solution epitaxial films by hydrothermal method and their ferroelectric and piezoelectric properties,
Jpn. J. Appl. Phys.,
vol. 62,
No. SM,
pp. 1012-1-8,
July 2023.
国際会議発表 (査読有り)
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Keisuke Ishihama,
Kazuki Okamoto,
Masanori Kodera,
Tomohide Morikawa,
Takao Shimizu,
Hiroshi Funakubo.
Exploring the Impact of Sr(Zr,Ti)O3 Buffer Layers for Controlling Domain Structure of Ferroelectric Thin Films,
2023 MRS Fall Meeting & Exhibit,
Nov. 2023.
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Shinnosuke Yasuoka,
Kazuki Okamoto,
Takao Shimizu,
Hiroshi Funakubo.
Characterization of Ferroelectric Switching Properties for (Al,Sc)N Films with Various Composition,
2023 MRS Fall Meeting & Exhibit,
Nov. 2023.
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Reika Ota,
Shinnosuke Yasuoka,
Kazuki Okamoto,
Yoshihiro Ueoka,
Yoshiro Kususe,
Masami Mesuda,
Hiroshi Funakubo.
Ferroelectric Property Improvement of (Al1-x-yGaxScy)N Ternary Thin Films,
2023 MRS Fall Meeting & Exhibit,
Nov. 2023.
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Taichi Murashita,
Hu Yuxian,
Yuma Takahashi,
Reika Ota,
Kazuki Okamoto,
Hiroshi Funakubo.
Preparation of {100}-Oriented Epitaxial (1-x)(Bi,K)TiO3-xCaTiO3 Solid Solution Films by Hydrothermal Method and Their Ferroelectric Property,
2023 MRS Fall Meeting & Exhibit,
Nov. 2023.
国際会議発表 (査読なし・不明)
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Hiroshi Funakubo,
Kazuki Okamoto,
Takao Shimizu,
Tomoaki Yamada.
Progress of Research on None-Perovskite Dielectric Materials,
STAC-D2MatE 2024 (The International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics – Data Driven Materials Research for Electronics 2024),
Feb. 2024.
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Hiroshi Funakubo,
Takao Shimizu,
Takanori Mimura,
Kazuki Okamoto.
Ferroelectric and Piezoelectric Properties of Non-perovskite Simple Oxide,
MRM2023/IUMRS-ICA2023,
Dec. 2023.
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Kazuki Okamoto,
Reika Ota,
Shinnosuke Yasuoka,
Yoshihiro Ueoka,
Yoshiro Kususe,
Masami Mesuda,
Hiroshi Funakubo.
Crystal structure and electrical properties of (Al, Ga, Sc)N temary thin films prepared by RF sputtering,
MNC 2023 (36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference),
Nov. 2023.
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Nachi Chaya,
Koji Hirai,
Shinnosuke Yasuoka,
Kazuki Okamoto,
Wakiko Yamaoka,
Yukari Inoue,
Hiroshi Funakubo.
No heating deposition of CeO2-HfO2 ferroelectric thick films by sputtering method,
MNC 2023 (36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference),
Nov. 2023.
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Yoshiki Maekawa,
Koji Hirai,
Kazuki Okamoto,
Takao Shimizu,
Hiroshi Funakubo.
Orientation Control of {100}-oriented Epitaxial Y-doped HfO2 Thin Films Using Lattice Matching,
IWDTF2023 (2023 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices - Science and Technology),
Oct. 2023.
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Hiroshi Funakubo,
Yuma Takahashi,
Takahisa Shiraishi,
Kodera Masanori,
Reijiro Shimura,
Takanori Mimura,
Keisuke Ishihama,
Kazuki Okamoto,
Hiroki Moriwake,
Ayako Taguchi,
Takao Shimizu,
Yasuhiro Fujii,
Akitoshi Koreeda.
Stabilization and Identification of Ferroelectric HfO2 Thin Films,
IWDTF2023 (2023 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices - Science and Technology),
Oct. 2023.
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H. Funakubo,
T. Shimizu,
T. Mimura,
T. Shiraishi,
K. Okamoto.
Impact of electric field on crystal structure and properties of HfO2-based ferroelectric films,
E-MRS 2023 Fall Meeting,
Sept. 2023.
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Kazuki Okamoto,
Yasuhiko Imai,
Osami Sakata,
Masahito Yoshino,
Takanori Nagasaki,
Tomoaki Yamada.
Enhancement of effective piezoelectric response in tetragonal (111) Pb(Zr,Ti)O3 nanorods,
Fundamental Physics of Ferroelectrics and related materials,
Feb. 2023.
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Hiroshi Funakubo,
Shinnosuke Yasuoka,
Ryoichi Mizutani,
Takahisa Shiraishi,
Akinori Tateyama,
Reika Ota,
Kazuki Okamoto,
Takao Shimizu,
Masato Uehara,
Hiroshi Yamada,
Morito Akiyama.
Thickness Scaling and Low Voltage Operation of Ferroelectric (Al1-xScx)N Films Prepared by Sputtering Method,
2022 MRS Fall Meeting & Exhibit,
Nov. 2022.
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Yuxian Hu,
Kazuki Okamoto,
Takahisa Shiraishi,
Hiroshi Funakubo.
Domain Structure and Properties of Epitaxial PbTiO3 Films Deposited below Curie Temperature by Hydrothermal Method,
ISFD-15 (15th International Symposium on Ferroic Domains & Micro- to Nano-scopic Structures),
Aug. 2022.
国内会議発表 (査読なし・不明)
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上原雅人,
平田研二,
中村美子,
安岡慎之介,
スリ アユ アンガライニ,
岡本一輝,
山田浩志,
舟窪浩,
秋山守人.
スパッタリング法で作製した高Sc濃度ScGaN膜の圧電・強誘電特性,
第71回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2024.
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大田怜佳,
安岡慎之介,
中村美子,
岡本一輝,
原浩之,
正能大起,
上岡義弘,
召田雅実,
舟窪浩.
Ga添加によるAlNへのSc固溶量の増加とその強誘電性および圧電性への影響,
第71回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2024.
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Nana SUN,
Kazuki Okamoto,
Shinnosuke Yasuoka,
Naoko Matsui,
Toshikazu Irisawa,
Koji Tsunekawa,
Soshun Doko,
Hiroshi Funakubo.
High stability of ferroelectricity against hydrogen gas in (Al,Sc)N thin films,
第71回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2024.
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道古宗俊,
松井尚子,
入澤寿和,
恒川孝二,
中村美子,
岡本一輝,
舟窪浩.
Pt下部電極の膜厚がAlScNの膜特性に及ぼす影響,
第71回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2024.
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影山壮太郎,
岡本一輝,
安岡慎之介,
上岡義弘,
召田雅実,
舟窪浩.
MgSiN2薄膜の作製と特性評価,
第71回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2024.
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中畑美紀,
岡本一輝,
石濱圭佑,
清水荘雄,
小金澤智之,
仲谷友孝,
坂田修身,
山田智明,
舟窪浩.
(100)/(001)配向正方晶Pb(Zr,Ti)O3膜における結晶構造のその場観察,
第71回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2024.
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石濱圭佑,
岡本一輝,
森川友秀,
舟窪浩,
小寺正徳,
清水荘雄,
小金澤智之,
仲谷友孝,
坂田修身.
強誘電体ドメイン構造制御に向けたペロブスカイト型Sr(Zr,Ti)O3バッファ層の作製,
日本セラミックス協会 2024年年会,
Mar. 2024.
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清水荘雄,
岡本一輝,
舟窪浩,
小金澤智之,
仲谷友孝,
坂田修身.
面内分極配向BaTiO3基エピタキシャル薄膜の作製,
日本セラミックス協会 2024年年会,
Mar. 2024.
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HU Yuxian,
岡本一輝,
舟窪浩.
水熱法で作製したPbTiO3エピタキシャル膜のキュリー温度及び歪み緩和,
第71回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2024.
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下野園航平,
前川芳輝,
茶谷那知,
岡本一輝,
山岡和希子,
川島康,
井上ゆか梨,
舟窪浩.
CeO2-HfO2-ZrO2薄膜の結晶構造と強誘電性の評価,
第71回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2024.
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Nana Sun,
Kazuki Okamoto,
Shinnosuke Yasuoka,
Naoko Matsui,
Toshikazu Irisawa,
Koji Tsunekawa,
Hiroshi Funakubo.
Effect of gas annealing on the ferroelectric property of (Al0.8Sc0.2)N thin film,
第62回セラミックス基礎科学討論会,
Jan. 2024.
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前川芳輝,
三村和仙,
稲熊宜之,
岡本一輝,
舟窪浩.
Ta添加HfO2薄膜の合成と強誘電性評価,
第62回セラミックス基礎科学討論会,
Jan. 2024.
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影山壮太郎,
岡本一輝,
安岡慎之介,
舟窪浩.
スパッタリング法によるAlN-(Mg, Si)N膜の作製とその特性評価,
第62回セラミックス基礎科学討論会,
Jan. 2024.
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下野園航平,
前川芳輝,
茶谷那知,
岡本一輝,
井上ゆか梨,
舟窪浩.
PLD法によるCeO2-HfO2-ZrO2薄膜の作製と評価,
第62回セラミックス基礎科学討論会,
Jan. 2024.
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舟窪浩,
茶谷那知,
平井浩司,
安岡慎之介,
岡本一輝,
山岡和希子,
井上ゆか梨.
スパッタリング法によるHfO2-CeO2強誘電体薄膜のYSZ基板上への非加熱合成,
第62回セラミックス基礎科学討論会,
Jan. 2024.
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藤田隼輔,
近藤真矢,
寺西貴志,
岡本一輝,
舟窪浩,
山田智明,
岸本昭.
パルスレーザー堆積法を用いたウルツ鉱型強誘電体ZnO基固溶体薄膜の作製,
第29回ヤングセラミスト・ミーティング,
Nov. 2023.
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小野友慈,
近藤真矢,
寺西貴志,
岡本一輝,
舟窪浩,
山田智明,
岸本昭.
RFマグネトロンスパッタリング法によるSi基板上への強誘電体HfO2基薄膜の作製,
第29回ヤングセラミスト・ミーティング,
Nov. 2023.
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村下太一,
岡本一輝,
高橋雄真,
窪田るりか,
伊東良晴,
藤井康裕,
是枝聡肇,
清水荘雄,
小林俊介,
加藤丈晴,
黄馨慧,
森分博紀,
幾原雄一,
舟窪浩.
水熱合成法で作製した(Bi, K)TiO3基強誘電体薄膜の熱処理効果とそれらの局所構造評価,
第43回電子材料研究討論会,
Nov. 2023.
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HUYUXIAN,
窪田るりか,
岡本一輝,
白石貴久,
舟窪浩.
水熱法による強誘電体PbTiO3エピタキシャル膜の合成とそのドメイン構造評価,
第43回電子材料研究討論会,
Nov. 2023.
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Xueyou Yuan,
Yuto Ota,
Daichi Ichinose,
Takao Shimizu,
Kazuki Okamoto,
Yoshitaka Ehara,
Masahito Yoshino,
Takanori Nagasaki,
Hiroshi Funakubo,
Tomoaki Yamada.
Domain architecture engineering of tensile-strained (PbxSr1-x)TiO3 thin films,
第84回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2023.
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石濱 圭佑,
岡本 一輝,
小寺 正徳,
森川 友秀,
清水 荘雄,
舟窪 浩.
強誘電体薄膜のドメイン構造制御に向けたSr(Zr,Ti)O3バッファ層の検討,
第84回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2023.
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中畑 美紀,
岡本 一輝,
石濱 圭佑,
山田 智明,
舟窪 浩.
(100)/(001)配向正方晶Pb(Zr,Ti)O3膜における電界下での結晶構造評価,
第84回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2023.
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前川 芳輝,
平井 浩司,
岡本 一輝,
清水 荘雄,
舟窪 浩.
格子整合によるY 添加HfO2強誘電体薄膜の配向制御,
第84回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2023.
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平井 浩司,
岡本 一輝,
白石 貴久,
山岡 和希子,
鶴丸 理沙子,
井上 ゆか梨,
舟窪 浩.
HfO2-CeO2膜における電気特性の膜厚及び組成依存性,
第84回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2023.
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安岡 慎之介,
岡本 一輝,
清水 荘雄,
松井 尚子,
入澤 寿和,
恒川 孝二,
舟窪 浩.
種々の組成の(Al, Sc)N多層膜のスイッチング特性評価,
第84回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2023.
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村下 太一,
髙橋 雄真,
窪田 るりか,
伊東 良晴,
藤井 康裕,
是枝 聡肇,
岡本 一輝,
舟窪 浩.
水熱合成法で作製した (Bi, K)TiO3基薄膜の熱処理効果,
第84回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2023.
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山田智明,
Yuan Xueyou,
太田悠登,
清水荘雄,
岡本一輝,
吉野正人,
舟窪浩,
長崎正雅.
引張歪み(PbxSr1-x)TiO3極薄膜の特異なドメイン構造と相転移,
日本セラミックス協会第36回秋季シンポジウム,
Sept. 2023.
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Xueyou Yuan,
Yuto Ota,
Daichi Ichinose,
Takao Shimizu,
Kazuki Okamoto,
Yoshitaka Ehara,
Masahito Yoshino,
Takanori Nagasaki,
Hiroshi Funakubo,
Tomoaki Yamada.
Domain architecture engineering of tensile-strained (PbxSr1-x)TiO3 thin films,
第84回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2023.
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村下太一,
HUYUXIAN,
高橋雄真,
大田怜佳,
岡本一輝,
舟窪浩.
水熱合成法を用いた(Bi,K)TiO3-CaTiO3 固溶体薄膜の作製とそのアニール効果,
第40回強誘電体会議(FMA40),
May 2023.
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中畑美紀,
岡本一輝,
石濱圭佑,
山田智明,
舟窪浩.
正⽅晶Pb(Zr,Ti)O3膜における内因的及び外因的な圧電応答の膜厚依存性,
第40回強誘電体会議(FMA40),
May 2023.
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Yueyushan Cheng,
Yuxian Hu,
Taichi Murashita,
Kazuki Okamoto,
HIROSHI FUNAKUBO.
Growth of Bismuth Ferrite-Based Epitaxial Films by Hydrothermal Method and Their Characterization,
第40回強誘電体会議(FMA40),
May 2023.
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村下太一,
胡雨弦,
高橋雄真,
大田怜佳,
岡本一輝,
舟窪浩.
水熱合成法で作製された(Bi,K)TiO3-CaTiO3固溶体薄膜の強誘電特性,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2023.
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舟窪浩,
胡雨弦,
岡本一輝,
窪田るりか,
白石貴久.
水熱法で低温作製したPbTiO3エピタキシャル膜のドメイン構造の特徴,
日本セラミックス協会2023年年会,
Mar. 2023.
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中畑美紀,
岡本一輝,
石濱圭佑,
山田智明,
舟窪浩.
電界下X線回折による正方晶Pb(Zr,Ti)O3膜における圧電応答の膜厚依存性の評価,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2023.
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安岡慎之介,
大田怜佳,
岡本一輝,
清水荘雄,
舟窪浩.
NbN電極上に作製したエピタキシャル(Al, Sc)N膜の電気特性評価,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2023.
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茶谷那知,
平井浩司,
安岡慎之介,
岡本一輝,
山岡和希子,
井上ゆか梨,
舟窪浩.
スパッタリング法によるHfO2-CeO2強誘電体厚膜の非加熱合成,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2023.
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前川芳輝,
平井浩司,
安岡慎之介,
岡本一輝,
清水荘雄,
舟窪浩.
様々な基板上におけるY:HfO2エピタキシャル膜の合成と評価,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2023.
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岡本一輝,
中畑美紀,
石濱圭佑,
山田智明,
舟窪浩.
正方晶Pb(Zr,Ti)O3 強誘電体膜における内因的・外因的圧電応答のその場観察,
日本セラミックス協会2023年年会,
Mar. 2023.
-
舟窪浩,
胡雨弦,
岡本一輝,
窪田るりか,
白石貴久.
水熱法で低温作製したPbTiO3エピタキシャル膜のドメイン構造の特徴,
日本セラミックス協会2023年年会,
Mar. 2023.
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中畑美紀,
岡本一輝,
胡雨弦,
安岡慎之介,
石濱圭佑,
舟窪浩.
正方晶Pb(Zr,Ti)O3薄膜における圧電特性の膜厚依存性,
第61回セラミックス基礎科学討論会,
Jan. 2023.
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茶谷那知,
平井浩司,
安岡慎之介,
岡本一輝,
舟窪浩.
フレキシブルデバイスに向けたHfO2基強誘電体厚膜の室温合成と圧電性の評価,
第61回セラミックス基礎科学討論会,
Jan. 2023.
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高橋雄真,
岡本一輝,
HUANG Yu,
窪田るりか,
藤井康裕,
是枝聡肇,
舟窪浩.
水熱合成法によって作製した (Bi, K)TiO3基エピタキシャル膜のラマン分光測定,
第61回セラミックス基礎科学討論会,
Jan. 2023.
-
胡雨弦,
岡本一輝,
舟窪浩.
水熱合成法によるPbTiO3エピタキシャル膜の作製と評価,
第61回セラミックス基礎科学討論会,
Jan. 2023.
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前川芳輝,
平井浩司,
安岡慎之介,
岡本一輝,
清水荘雄,
舟窪浩.
種々の基板上におけるHfO2基エピタキシャル膜の合成と評価,
第61回セラミックス基礎科学討論会,
Jan. 2023.
-
村下太一,
胡雨弦,
高橋雄真,
大田怜佳,
岡本一輝,
舟窪浩.
水熱合成法を用いた (Bi, K)TiO3基固溶体の薄膜作製とその強誘電性,
第61回セラミックス基礎科学討論会,
Jan. 2023.
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舟窪浩,
清水荘雄,
白石貴久,
岡本一輝.
ペロブスカイト基強誘電体と比較したHfO2 やAlN 基強誘電体の特徴,
第42回電子材料研究討論会,
Nov. 2022.
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舟窪浩,
清水荘雄,
白石貴久,
岡本一輝.
ペロブスカイト基強誘電体と比較したHfO2 やAlN 基強誘電体の特徴,
第42回電子材料研究討論会,
Nov. 2022.
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岡本一輝,
安岡慎之介,
大田怜佳,
舟窪浩,
松井尚子,
入澤寿和,
恒川孝二.
水素ガス熱処理が(Al,Sc)N 薄膜の強誘電特性へ及ぼす影響,
第83回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2022.
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大田怜佳,
安岡慎之介,
岡本一輝,
上岡義弘,
楠瀬好郎,
召田雅実,
舟窪浩.
(Al1-x-yGaxScy)N薄膜の結晶構造および強誘電性,
第83回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2022.
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胡雨弦,
岡本一輝,
舟窪浩.
水熱合成法で作製したPbTiO3基エピタキシャル膜の結晶構造及び特性評価,
第83回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2022.
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安岡慎之介,
大田怜佳,
岡本一輝,
石濱圭佑,
清水荘雄,
角嶋邦之,
上原雅人,
山田浩志,
秋山守人,
小金澤智之,
L. S. R. Kumara,
Okkyun Seo,
坂田修身,
舟窪浩.
メモリ応用に向けた(Al, Sc)N膜の薄膜化の検討,
第83回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2022.
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