論文

• Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Naoto Tanaka, Taiki Ogata, Hiroki Ora, Daisuke Yamane, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, Kazuya Masu. High-Sensitivity Inertial Sensor Module to Measure Hidden Micro Muscular Sounds, IEEE Biomedical Circuits and Systems Conference 2019 (BioCAS2019), IEEE Conference Paper, IEEE, Oct. 2019.  公式リンク  
  
• Ken Atsumi, Shota Otobe, Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Pillar-Shaped Electrodes for 3-axis Gold-Proof-Mass MEMS Capacitive Accelerometers, Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP2019), IEEE Conference Paper, IEEE, May 2019.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読有り)

• Takashi Ichikawa, Kohei Shibata, Tatsuya Koga, Katsuyuki Machida, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito. A High Resolution Single Gold Proof-Mass CMOS-MEMS Accelerometer, International Conference on Solid State Devices and Materials, Sept. 2020.
• Takashi Ichikawa, Ken Atsumi, Tatsuya Koga, Daisuke Yamane, Shin-ichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A 100-nG/√Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-Axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped electrodes, Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, June 2020.
• Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Gold Proof-Mass Differential MEMS Accelerometer for Micro-G Level Sensing, The 7th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems (INERTIAL 2020), Mar. 2020.
• Daisuke Yamane, Shota Otobe, Ken Atsumi, Tatsuya Koga, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A 3-D PARALLEL-PLATE MEMS ACCELEROMETER WITH A GOLD PROOF MASS, 32nd Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019), pp. 684-687, Jan. 2019.  公式リンク  
  
• Shota Otobe, Tatsuya Koga, Ken Atsumi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shin-ichi Iida, Hiroyuki. Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Sub-1mG Tri-Axis MEMS Accelerometer with Multiple Segmented Capacitance Detection Electrodes, 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018), Nov. 2018.

国内会議発表 (査読有り)

• 古賀 達也, 市川 崇志, 田中 直登, 緒方 大樹, 大良 宏樹, 山根 大輔, 石原 昇, 伊藤 浩之, 曽根 正人, 町田 克之, 三宅 美博, 益 一哉. 微弱筋音計測に向けた高分解能MEMS慣性センサモジュールの検討, 第11回集積化MEMSシンポジウム, 19pm4-A-3, Nov. 2019.
• 市川 崇志, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 石原 昇, 伊藤 浩之, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術で作製したMEMS加速度センサの衝撃特性評価, 第11回集積化MEMSシンポジウム, 19pm4-A-4, Nov. 2019.
• 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討, 令和元年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, pp. 67-72, July 2019.
• 渥美 賢, 乙部 翔太, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術によるピラー型容量検出電極の検討, 第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.
• 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討, 第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.
• 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 3軸Au錘MEMS加速度センサにおける平行平板型電極の検討, 第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.
• 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. Au単一錘平行平板型3軸MEMS加速度センサの検討, 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）, Oct. 2018.
• 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討, 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）, Oct. 2018.  公式リンク  
  
• 古賀 達也, 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討, 第9回 集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2017.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 市川 崇志, 古賀 達也, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉, 伊藤 浩之. 単一 Au 錘 3 軸加速度センサのための分割容量検出 2 重電極に関する検討, 令和2年度E部門総合研究会, July 2021.
• 市川 崇志, 内山晃宏, 古賀 達也, 町田 克之, 石原昇, 益 一哉, 飯田 慎一, 伊藤 浩之. 100 nG/√Hz レベルを目指した分割 2 重電極を有する単一Au錘 3 軸 MEMS 加速度センサの検討, 第12回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2020.
• 内山晃宏, 市川 崇志, 古賀 達也, 町田 克之, 益 一哉, 石原昇, 飯田 慎一, 伊藤 浩之. Au錘一軸MEMS加速度センサの差動容量型電極構造の検討, 第12回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2020.
• 柴田滉平, 市川 崇志, 古賀 達也, 町田 克之, 益 一哉, 石原昇, 飯田 慎一, 伊藤 浩之. 高分解能単一Au 錘CMOS-MEMS 加速度センサの検討, 第12回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2020.
• 内山晃宏, 市川 崇志, 古賀達也, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. マイクロGレベルセンシングのための金錘1軸差動容量型MEMS加速度センサ, 第81回 応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2020.
• 市川崇志, 渥美賢, 古賀達也, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. 100 nG/√Hzレベルを目指したピラー型電極を有する単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討, 第81回 応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2020.
• 渥美 賢, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討, 第67回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2020.
• 市川 崇志, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討, 第67回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2020.
• 市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 3Dピラー型Au錘MEMS加速度センサ, 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 19am3-PS3-21, Nov. 2019.
• 伊藤浩之, 古賀達也, 市川崇志, 山根大輔, 石原昇, 三宅美博, 町田克之, 益一哉. 兆し計測のための高感度MEMS加速度センサ技術, 計測自動制御学会 システム・情報部門 学術講演会 2019, Nov. 2019.
• 市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 曽根 正人, 益 一哉. Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討 (2), 第80回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2019.
• 古賀 達也, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討(2), 第64回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2018.
• 高安 基大, 古賀 達也, 辻 一平, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 傾斜を用いた1mG MEMS加速度センサの分解能評価の検討, 平成30年 電気学会 全国大会, Mar. 2018.
• 古賀 達也, 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術によるMEMS慣性センサの傾斜時感度特性の検討, 第78回 応用物理学会 秋季学術講演会, Sept. 2017.  公式リンク  
  

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