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年吉洋 研究業績一覧 (169件)
論文
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Hiroshi Toshiyoshi,
Masato Sone,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Kazuya Masu.
A MEMS Accelerometer for Sub-mG Sensing,
Sensors and Materials,
Vol. 31,
no. 9,
pp. 2883-2894,
July 2019.
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Hiroshi Toshiyoshi,
Masato Sone,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
Evaluation and Modeling of Adhesion Layer in Shock-Protection Structure for MEMS Accelerometer,
Microelectronics Reliability,
Vol. 66,
pp. 78-84,
Nov. 2016.
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Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Teruaki Safu,
Masato Sone,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A Damping Constant Model for Proof-Mass Structure Design of MEMS Inertial Sensor by Multi-Layer Metal Technology,
IEEE Sensors 2016,
IEEE Proceeding,
pp. 1162-1164,
Oct. 2016.
公式リンク
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A 1-mG MEMS Sensor,
ECS Transactions,
vol. 72,
no. 3,
pp. 7-14,
May 2016.
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Takaaki Matsushima,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A 0.1G-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor,
Japanese Journal of Applied Physics,
The Japan Society of Applied Physics,
Volume 54,
Number 8,
pp. 087202.1-087202.4,
July 2015.
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A Sub-1G MEMS Sensor,
ECS Transactions,
The Electrochemical Society,
volume 66,
No. 5,
pp. 131-138,
May 2015.
-
Daisuke Yamane,
Takaaki Matsushima,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A Dual-Axis MEMS Capacitive Inertial Sensor with High-Density Proof Mass,
Microsystem Technologies,
Springer Berlin Heidelberg,
Vol. 22,
pp. 459-464,
Apr. 2015.
-
Katsuyuki Machida,
Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu.
Integrated CMOS-MEMS Technology and Its Applications,
ECS Transactions,
The Electrochemical Society,
volume 61,
no. 6,
pp. 21-39,
May 2014.
-
Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Takaaki Matsushima,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi.
A capacitive CMOS-MEMS sensor designed by multi-physics simulation for integrated CMOS-MEMS technology,
Japanese Journal of Applied Physics,
vol. 53,
pp. 04EE15.1-7,
Mar. 2014.
-
Daisuke Yamane,
Yi-Chien Wu,
Ting-Hsiang Wu,
Hiroshi Toshiyoshi,
Michael Teitell,
Pei-Yu Chiou.
Electrical impedance monitoring of photothermal porated mammalian cells,
Journal of Laboratory Automation,
vol. 19,
no. 1,
pp. 50-59,
Feb. 2014.
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Takaaki Matsushima,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu.
Design of sub-1g microelectromechanical systems accelerometers,
Applied Physics Letters,
Vol. 104,
No. 7,
pp. 74102,
Feb. 2014.
-
山根 大輔,
サン ウィンストン,
川崎 繁男,
藤田 博之,
年吉 洋.
水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法,
電子情報通信学会論文誌C(エレクトロニクスソサエティ),
Vol. J97-C,
No. 1,
pp. 37-45,
Jan. 2014.
-
Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Takaaki Matsushima,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi.
An arrayed accelerometer device of a wide range of detection for integrated CMOS-MEMS technology,
Japanese Journal of Applied Physics,
Vol. 53,
pp. 27202,
Jan. 2014.
-
Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Takaaki Matsushima,
Gou Motohashi,
Ken Kagaya,
Hiroyuki Ito,
Noboru Ishihara,
Hiroshi Toshiyoshi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
Novel Sensor Structure and its Evaluation for Integratd Complementary Metal Oxide Semiconductor Microelectromechanical Systems Accelerometer,
Japanese Journal of Applied Physics,
Vol. 52,
No. 6,
pp. 06GL04,
June 2013.
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Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Satoshi Maruyama,
Makoto Mita,
Kazuya Masu,
Hiroshi Toshiyoshi.
A Single-platform Simulation and Design Technique for CMOS-MEMS Based on a Circuit Simulator with Hardware Description Language,
IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems,
vol. 22,
no. 3,
pp. 755-767,
2013.
-
山根 大輔,
サン ウィンストン,
川崎 繁男,
藤田 博之,
年吉 洋.
エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用,
電子情報通信学会論文誌C(エレクトロニクスソサエティ),
Vol. J95-C,
No. 10,
pp. 219-227,
Oct. 2012.
-
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Hiroshi Toshiyoshi.
Multi-Physics Equivalent Circuit Model for MEMS Sensors and Actuators,
ECS Transactions,
The Electrochemical Society,
volume 50,
no. 14,
pp. 55-61,
Oct. 2012.
-
山根大輔,
サン ウィンストン,
川崎 繁男,
藤田 博之,
年吉 洋.
エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用,
電子情報通信学会論文誌C(エレクトロニクスソサエティ),
Vol. J95-C,
No. 10,
pp. 219-227,
Oct. 2012.
-
Daisuke Yamane,
Winston Sun,
Harunobu Seita,
Shigeo Kawasaki,
Hiroyuki Fujita,
Hiroshi Toshiyoshi.
A Ku-band Dual-SPDT RF-MEMS Switch by Double-Side SOI Bulk Micromachining,
IEEE Journal of Microelectromechanical Systems,
vol. 20,
no. 5,
pp. 1211-1221,
Oct. 2011.
-
山根 大輔,
李 宥憲,
藤田 博之,
年吉 洋.
メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作,
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),
vol. 131,
no. 3,
pp. 130-131,
Mar. 2011.
-
Daisuke Yamane,
Winston Sun,
Shigeo Kawasaki,
Hiroyuki Fujita,
Hiroshi Toshiyoshi.
A 12GHz bulk-micromachined RF-MEMS phase shifter by SOI layer-separation design,
IEICE Electronics Express,
vol. 7,
no. 24,
pp. 1785-1789,
Dec. 2010.
-
Daisuke Yamane,
Winston Sun,
Harunobu Seita,
Shigeo Kawasaki,
Hiroyuki Fujita,
Hiroshi Toshiyoshi.
An SOI bulk-micromachined dual SPDT RF-MEMS switch by layer-wise separation design of waveguide and switching mechanism,
IEICE Electronics Express,
vol. 7,
no. 2,
pp. 80-85,
Jan. 2010.
著書
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益一哉,
町田克之,
年吉洋,
江刺 正喜,
藤田博之,
石田誠,
田中 秀治,
高橋 一浩,
越田信義,
小山 英樹,
佐々木 実,
秦誠一,
橋口 原,
高尾 英邦,
永瀬 雅夫,
山口 浩司,
北澤 正志,
前中 一介,
澤田和明,
柴崎 一郎,
野村聡,
竹内 幸裕,
柴田 英毅,
楢崎 祥一,
鈴木 雄二,
西岡 泰城,
森村 浩季,
日暮 栄治,
千野 満,
内山 直己,
足立 秀喜,
井上 晴伸,
橋本 秀樹.
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用?MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合?,
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用?MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合?,
株式会社 シーエムシー出版,
Nov. 2012.
国際会議発表 (査読有り)
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Wan-Ting Chiu,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Agnès Tixier-Mita,
Hiroshi Toshiyoshi,
Hosoda Hideki.
Strategies for the balance of oxide/metal composites towards the applications of flexible solar energy harvesters,
TMS 2021 Annual Meeting & Exhibition (TMS2021),
Mar. 2021.
-
Wan-Ting Chiu,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Agnès Tixier–Mita,
Hiroshi Toshiyoshi.
Developments of Flexible and Biocompatible Hybrid Materials towards the Glucose Sensing Applications,
The 15th International Workshop on Biomaterials in Interface Science & The 11th Symposium on Innovative Dental-Engineering Alliance (IDEA),
Dec. 2020.
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Yukiya Tohyama,
Hiroaki Honma,
Noboru Ishihara,
Hidehiko Sekiya,
Hiroshi Toshiyoshi,
Daisuke Yamane.
Energy Harvesting from Non-Stational Environmental Vibrations using a Voltage-Boost Rectifier Circuit,
19th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (Power MEMS 2019),
Dec. 2019.
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Wan-Ting Chiu,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Agnès Tixier-Mita,
Hiroshi Toshiyoshi.
Non-Enzymatic Sensing of Glucose Based on Au Nanoparticles and TiO2 Modified Polyaniline,
2019 MRS Fall Meeting,
Dec. 2019.
-
Wan-Ting Chiu,
Yi-Husan Chiu,
Ping-Yen Hsieh,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Yung-Jung Hsu,
Agnès Tixier-Mita,
Hiroshi Toshiyoshi.
Enhancement of electrocatalytic activity for 1-propanol oxidation in alkaline media via Au nanoparticles-TiO2/Polyaniline composite film,
TACT 2019 International Thin Films Conference,
Nov. 2019.
-
Wan-Ting Chiu,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Agnès Tixier-Mita,
Hiroshi Toshiyoshi.
Non-enzymatic sensing of glucose based on Au nanoparticles-TiO2/polyaniline thin film composite,
TACT 2019 International Thin Films Conference,
Nov. 2019.
-
Yukiya Tohyama,
Hiroaki Honma,
Noboru Ishihara,
Hiroshi Toshiyoshi,
Daisuke Yamane.
Bandwidth Enhancement of Vibrational Energy Harvesters by a Voltage-Boost Rectifier Circuit,
20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019 - EUROSENSORS XXXIII),
June 2019.
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Daisuke Yamane,
Hiroaki Honma,
Hiroshi Toshiyoshi.
A MEMS VIBRATORY ENERGY HARVESTER CHARGED BY AN OFF-CHIP ELECTRET,
32nd Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019),
pp. 1025-1028,
Jan. 2019.
公式リンク
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Yukiya TOHYAMA,
Hiroaki HONMA,
Noboru Ishihara,
Hidehiko SEKIYA,
Hiroshi Toshiyoshi,
Daisuke Yamane.
A Voltage-Boost Rectifier Circuit for Energy Harvesting from Environmental Vibrations,
18th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2018),
Dec. 2018.
公式リンク
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HIdeaki Nakajima,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
HIroshi Toshiyoshi,
Hiroyuki Ito,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
A Study on Effective Young’s Modulus of Micro-Cantilevers Fabricated by Au Electroplating,
The 2nd Taiwan-Japan Joint Symposium in Taiwan, by The study group of the Integrated MEMS of JSAP & Nano Engineering and Microsystem Technology Conference, Taiwan,
Nano Engineering and Microsystem Technology Conference, Taiwan,
June 2018.
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
Sub-1mG Inertial Sensors by Multi-layer Metal Technology,
IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017,
F5-05,
Nov. 2017.
公式リンク
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M.S. Khan,
K. Isamoto,
C. Keum,
N. Lafitte,
K. Totsuka,
C. Chong,
N. Nishiyama,
H. Toshiyosh.
A MEMS tunable VCSEL for Scalable SS-OCT,
24th International Commission for Optics (ICO-24),
24th International Commission for Optics (ICO-24),
no. Th2G-03,
Aug. 2017.
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Masato Sone,
Katsuyuki Machida,
Yoshihiro Miyake,
Kazuya Masu.
MEMS inertial sensors for biomedical applications,
12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017),
Apr. 2017.
公式リンク
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Hideaki Nakajima,
Minami Teranishi,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu.
Young’s modulus evaluation of electroplated Ti/Au structures for MEMS devices,
29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2016),
pp. 10D-5-1,
Nov. 2016.
公式リンク
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Hiroshi Toshiyoshi,
Masato Sone,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A Spring Design for Tri-axis MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology,
2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016),
pp. 485-486,
Sept. 2016.
公式リンク
-
Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Hiroyuki Ito,
Shiro Dosho,
Noboru Ishihara,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu.
A Novel Noise Analysis Method with Multi-physics Simulation for Capacitive CMOS-MEMS Inertial Sensor System,
2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016),
pp. 673-674,
Sept. 2016.
公式リンク
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Hiroyuki Ito,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A Novel MEMS Inertial Sensor With Out-of-plane Differential Sensing Structure By Multi-layer Metal Technology,
Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016),
pp. 299-300,
June 2016.
公式リンク
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A MEMS Inertia Sensor with Brownian Noise of Below 50 nG/Hz^1/2 by Multi-Layer Metal Technology,
IEEE Inertial Sensors 2016,
pp. 148-149,
Feb. 2016.
公式リンク
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Motohiro Takayasu,
Hiroyuki Ito,
Shiro Dosho,
Noboru Ishihara,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A Sub-1G CMOS-MEMS Accelerometer,
IEEE Sensors 2015,
pp. 513-516,
Nov. 2015.
-
Minami Teranishi,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi,
Daisuke Yamane,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Study on Ti/Au Two-Layered Cantilevers with different Aspect Ratio for MEMS Devices,
SSDM2015, 2015 International Conference on Solid State Devises and Materials,
SSDM2015, 2015 International Conference on Solid State Devises and Materials,
pp. 52-53,
Sept. 2015.
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Motohiro Takayasu,
Teruaki Safu,
Hiroshi Toshiyoshi,
Masato Sone,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
Robustness of Integrated Stoppers for MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layered Metal Technology,
SSDM2015, 2015 International Conference on Solod State Devices and Materials,
SSDM2015, 2015 International Conference on Solod State Devices and Materials,
pp. 786-787,
Sept. 2015.
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Minami Teranishi,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Masato Sone,
Katsuyuki Machida.
A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology,
25th Advanced Metallization Conference Asian Session (ADMETAplus2015),
Sept. 2015.
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A Low Mechanical Noise Tri-axis MEMS Ineretial Sensor Fabricated by Multi-layered Metal Technology,
41st Micro and Nano Engineering (MNE2015),
pp. Wed-C-p11,
Sept. 2015.
-
Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Motohiro Takayasu,
Hiroyuki Ito,
Shiro Dosho,
Noboru Ishihara,
Kazuya Masu,
Hiroshi Toshiyoshi,
Katsuyuki Machida.
Novel Gain-Controlled Sensor Circuits Designed by Multi-physics Simulation for CMOS-MEMS Accelerometer,
2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015),
pp. 798-799,
Sept. 2015.
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A Sub-1G MEMS Sensor,
the 227th ECS Meeting,
pp. 1332,
May 2015.
-
Daisuke Yamane,
Harunobu Seita,
Winston Sun,
Shigeo Kawasaki,
Hiroyuki Fujita,
Hiroshi Toshiyoshi.
A 12-GHz DPDT RF MEMS Switch with Layer-wise Waveguide/Actuator Design Technique,
IEEE MEMS,
Jan. 2015.
-
Kazuhiro Takahashi,
Makoto Mita,
Muneki Nakada,
Daisuke Yamane,
Akio Higo,
Hiroyuki Fujita,
Hiroshi Toshiyoshi.
Development of Multi-user Multi-chip SOI CMOS-MEMS Process,
IEEE MEMS,
Jan. 2015.
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Takaaki Matsushima,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A 1mG-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor,
IEEE SENSORS 2014,
pp. 1591-1594,
Nov. 2014.
公式リンク
-
Takaaki Matsushima,
Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A MEMS Energy Harvesting Device for Integrated CMOS-MEMS Technology,
27th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014),
pp. 6C-5-5,
Nov. 2014.
公式リンク
-
Toshifumi Konishi,
Takaaki Matsushima,
Daisuke Yamane,
Kazuya Masu,
Hiroshi Toshiyoshi,
Katsuyuki Machida.
A Novel Electromechanical Model of a MEMS Energy Harvesting Device for a Multi-physics Simulation Platform on a Circuit Simulator,
International Conference on Solid State Devices and Materials,
p. 100-101,
Sept. 2014.
公式リンク
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Takaaki Matsushima,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A Sub-1G Tri-axis MEMS Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers,
International Conference on Solid State Devices and Materials,
p. 974-975,
Sept. 2014.
公式リンク
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Takaaki Matsushima,
Hiroshi Toshiyoshi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
A Sub-1G Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers,
7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT2014),
pp. P2-55,
June 2014.
公式リンク
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Takaaki Matsushima,
Hiroshi Toshiyoshi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
A Tri-Axis MEMS Capacitive Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Integrated CMOS-MEMS Accelerometer,
2014 IEEE International Interconnect Technology Conference/Advanced Metallization Conference (IITC/AMC 2014),
pp. 113-116,
May 2014.
公式リンク
-
Katsuyuki Machida,
Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu.
Integrated CMOS-MEMS Technology and its Application,
The 2nd Int. Symp. on More-than-Moore, the 225th Meeting of the Electrochemical Society,
May 2014.
公式リンク
-
Daisuke Yamane,
Takaaki Matsushima,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
A Dual-Axis MEMS Inertial Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Arrayed CMOS-MEMS Accelerometer,
Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP2014),
pp. 69-72,
Apr. 2014.
公式リンク
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Takaaki Matsushima,
Gou Motohashi,
Ken Kagaya,
Hiroyuki Ito,
Noboru Ishihara,
Hiroshi Toshiyoshi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
Sub-1G MEMS Accelerometer,
IEEE SENSORS 2013,
pp. 171-174,
Nov. 2013.
公式リンク
-
Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Takaaki Matsushima,
Satoshi Maruyama,
Ken Kagaya,
Hiroyuki Ito,
Noboru Ishihara,
Hiroshi Toshiyoshi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
Novel Sensor Circuits Design Using Multi-physics Simulation for CMOS-MEMS Technology,
2013 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2013),
pp. G-4-2,
Sept. 2013.
公式リンク
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Takaaki Matsushima,
Gou Motohashi,
Ken Kagaya,
Hiroyuki Ito,
Noboru Ishihara,
Hiroshi Toshiyoshi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
AN ARRAYED MEMS ACCELEROMETER WITH A WIDE RANGE OF DETECTION,
17th Int. Conf on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013),
pp. 22-25,
June 2013.
公式リンク
-
Hiroshi Toshiyoshi,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
A Multi-Physics Simulation Technique for Integrated MEMS,
2012 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM 2012),
Dec. 2012.
公式リンク
-
Daisuke Yamane,
Takaaki Matsushima,
Toshifumi Konishi,
Gou Motohashi,
Hiroyuki Ito,
Noboru Ishihara,
Hiroshi Toshiyoshi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
Evaluation of a Capacitive Sensor with a Gold Proof Mass Toward Integrated CMOS-MEMS Accelerometers,
25th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012),
Oct. 2012.
公式リンク
-
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Hiroshi Toshiyoshi.
Multi-physics Equivalent Circuit Models for MEMS Sensors and Actuators,
The 1st Int. Symp. on More-than-Moore, the 222nd Meeting of the Electrochemical Society / The 2012 Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science (PRiME),
Oct. 2012.
公式リンク
-
Toshifumi Konishi,
Satoshi Maruyama,
Makoto Mita,
Daisuke Yamane,
Hiroyuki Ito,
Katsuyuki Machida,
Noboru Ishihara,
Kazuya Masu,
Hiroyuki Fujita,
Hiroshi Toshiyoshi.
A CMOS-MEMS Design Technique based on an Electrical Circuit Simulator with Hardware Description Language,
2012 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012),
Sept. 2012.
公式リンク
-
Daisuke Yamane,
Takaaki Matsushima,
Toshifumi Konishi,
Gou Motohashi,
Hiroyuki Ito,
Noboru Ishihara,
Hiroshi Toshiyoshi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
A Novel Sensor Structure and its Fabrication Process for Integrated CMOS-MEMS Accelerometer,
2012 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012),
Sept. 2012.
公式リンク
-
Daisuke Yamane,
Yi-Chien Wu,
Ting-Hsiang Wu,
Hiroshi Toshiyoshi,
Michael A. Teitell,
Pei-Yu Chiou.
Real-Time Monitoring of Photothermal Porated Mammalian Cells by Electric Impedance Sensors,
IEEE International Conference on Optical MEMS & Nanophotonics,
Aug. 2012.
公式リンク
-
Daisuke Yamane,
Winston Sun,
Shigeo Kawasaki,
Hiroyuki Fujita,
Hiroshi Toshiyoshi.
A Ku-Band RF-MEMS Phase Shifter with SOI Double-Side Bulk-Micromachining Design,
5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT),
pp. 68,
July 2010.
-
Daisuke Yamane,
Hiroyuki Fujita,
Hiroshi Toshiyoshi,
Shigeo Kawasaki.
Development of a Dual-SPDT RF-MEMS Switch for Ku-band,
IEEE Radio and Wireless Symposium (RWS),
pp. 432-435,
Jan. 2010.
-
Daisuke Yamane,
Kiyotaka Yamashita,
Harunobu Seita,
Hiroyuki Fujita,
Hiroshi Toshiyoshi,
Shigeo Kawasaki.
A Dual-SPDT RF-MEMS Switch on a Small-Sized LTCC Phase Shifter for Ku-band operation,
Asia-Pacific Microwave Conference (APMC),
pp. 555-558,
Dec. 2009.
-
Daisuke Yamane,
Kiyotaka Yamashita,
Harunobu Seita,
Hiroshi Toshiyoshi,
Shigeo Kawasaki.
A Prototype of Ku-Band Small-Sized LTCC Phase Shifter with RF-MEMS Switches,
2009 Thailand-Japan MicroWave (TJMW2009),
pp. FR7-5,
Aug. 2009.
-
Daisuke Yamane,
Takeshi Yamamoto,
Kenichiro Urayama,
Kiyotaka Yamashita,
Hiroshi Toshiyoshi,
Shigeo Kawasaki.
A Phase Shifter by LTCC Substrate with an RF-MEMS Switch,
The 38th European Microwave Conference (EuMC),
pp. 611-613,
Oct. 2008.
-
David Dubuc,
Daisuke Yamane,
Zhang Rui,
Yuheon Yi,
Katia Grenier,
Hiroyuki Fujita,
Hiroshi Toshiyoshi.
Modelling and Design Guidelines of Metamaterial-based Artificial Dielectric for the Miniaturization of Microwave Passive Circuit,
Metamaterials' 2008,
Sept. 2008.
国内会議発表 (査読有り)
-
中島 英亮,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
山根 大輔,
小西 敏文,
町田 克之,
年吉 洋,
益 一哉,
曽根 正人.
MEMS加速度センサに向けた金めっき微小カンチレバーのヤング率 に関する検討,
第79回応用物理学会秋季学術講演会,
第79回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2018.
-
中島英亮,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
⼭根⼤輔,
小西敏文,
町⽥ 克之,
年吉洋,
益 ⼀哉,
曽根 正⼈.
電解めっき法によるTi/Au微⼩カンチレバーのヤング率評価,
応用物理学会第65回春季講演会,
応用物理学会第65回春季講演会,
Mar. 2018.
-
小西 敏文,
山根 大輔,
佐布 晃昭,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討,
第9回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2017.
公式リンク
-
新島 宏文,
高安 基大,
山根 大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
伊藤 浩之,
年吉 洋,
町田 克之,
益 一哉.
静電容量型MEMSセンサにおけるブラウニアン・ノイズ評価手法の検討(2),
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,
01am2-PLN-8,
Oct. 2017.
公式リンク
-
小西 敏文,
山根大輔,
伊藤 浩之,
道正 志郎,
石原 昇,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS慣性センサのノイズ解析手法,
第8回集積化MEMSシンポジウム,
p. 25am2-PM-007,
Oct. 2016.
公式リンク
-
佐布 晃昭,
小西 敏文,
山根大輔,
年吉 洋,
曽根 正人,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法,
第8回集積化MEMSシンポジウム,
p. 25pm4-PM-008,
Oct. 2016.
公式リンク
-
山根大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ,
第8回集積化MEMSシンポジウム,
p. 25am2-PM-001,
Oct. 2016.
公式リンク
-
山根大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
伊藤 浩之,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
差動型積層メタルMEMS加速度センサの検討,
第8回集積化MEMSシンポジウム,
p. 25am2-PM-003,
Oct. 2016.
公式リンク
-
寺西美波,
Chang Tso-Fu Mark,
Chen Chun-Yi,
山根大輔,
益一哉,
曽根正人,
小西敏文,
町田克之,
年吉洋.
電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価,
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,
Oct. 2016.
-
佐布 晃昭,
小西敏文,
松島隆明,
山根大輔,
年吉 洋,
曽根正人,
益 一哉,
町田克之.
MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価,
第7回集積化MEMSシンポジウム,
pp. 29pm3-PM-5,
Oct. 2015.
-
高安 基大,
山根 大輔,
小西 敏文,
伊藤 浩之,
道正 志郎,
石原 昇,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
移動体制御における慣性センサ適用性の検討,
第7回 集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2015.
-
山根大輔,
小西敏文,
年吉 洋,
益 一哉,
町田克之.
Sub-1G?20G集積化MEMS慣性センサ,
第7回集積化MEMSシンポジウム,
pp. 29pm3-PM-2,
Oct. 2015.
-
小西敏文,
山根大輔,
高安基大,
伊藤浩之,
道正志郎,
石原昇,
益 一哉,
年吉 洋,
町田克之.
マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS 加速度センサのためのゲイン制御センサ回路の検討,
第7回集積化MEMSシンポジウム,
pp. 29pm2-D-4,
Oct. 2015.
-
山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
年吉 洋,
益 一哉,
町田克之.
集積化CMOS?MEMS技術によるSub-1G加速度センサの基礎検討,
第6回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2014.
公式リンク
-
松島隆明,
山根大輔,
小西敏文,
年吉洋,
益 一哉,
町田克之.
Au積層形成技術による3軸MEMS加速度センサの検討,
第6回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2014.
公式リンク
-
小西敏文,
松島隆明,
山根大輔,
益 一哉,
年吉洋,
町田克之.
回路シミュレータを用いたMEMSエネルギーハーベスティングデバイスの検討,
第6回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2014.
公式リンク
-
小西敏文,
山根大輔,
松島隆明,
丸山智史,
加賀谷 賢,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
マルチフィジクスシミュレーションを用いた集積化CMOS-MEMS技術のためのセンサ回路の検討,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム,
pp. 6PM3-PIM-001,
Nov. 2013.
公式リンク
-
山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
加賀谷 賢,
佃 真文,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
アレイ型MEMS加速度センサの特性評価,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム,
pp. 6PM3-PIM-002,
Nov. 2013.
公式リンク
-
加賀谷 賢,
小西敏文,
山根大輔,
松島隆明,
佃 真文,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
エネルギーハーベストデバイスの小型化の検討,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム,
pp. 6PM3-PIM-003,
Nov. 2013.
公式リンク
-
小西敏文,
丸山智史,
三田信,
山根大輔,
伊藤浩之,
町田克之,
石原 昇,
益一哉,
藤田博之,
年吉 洋.
ハードウェア記述言語を用いた集積化CMOS-MEMS統合設計技術,
応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2012.
公式リンク
-
山根大輔,
本橋 剛,
小西敏文,
松島隆明,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益一哉.
アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの検討,
応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2012.
公式リンク
-
加賀谷 賢,
小西敏文,
山根大輔,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益一哉.
統合設計技術のためのMEMS加速度センサのモデルの検討,
応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2012.
公式リンク
-
本橋 剛,
小西敏文,
松島隆明,
山根大輔,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益一哉.
0.35μmCMOS-LSIによるMEMSセンサ用VCO回路の検討,
応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2012.
公式リンク
-
山根大輔,
本橋 剛,
小西敏文,
松島隆明,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益一哉.
アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討,
応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催 第3回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
July 2012.
公式リンク
-
本橋剛,
小西敏文,
松島隆明,
伊藤浩之,
石原昇,
年吉洋,
町田克之,
益一哉.
アレイ型CMOS-MEMS 加速度センサの検討(1),
第59 回応用物理学関係連合講演会,
第59 回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集,
応用物理学会,
pp. 22-019,
Mar. 2012.
-
小西敏文,
本橋剛,
松島隆明,
伊藤浩之,
石原昇,
年吉洋,
町田克之,
益一哉.
アレイ型CMOS-MEMS 加速度センサの検討 (2),
第59 回応用物理学関係連合講演会,
第59 回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集,
応用物理学会,
pp. 22-020,
Mar. 2012.
-
山根大輔,
Winston Sun,
川崎繁男,
藤田博之,
年吉 洋.
SOIレイヤ分離設計によるモノリシックRF-MEMS移相器,
第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,
Sept. 2011.
-
山根大輔,
Winston Sun,
川崎繁男,
藤田博之,
年吉 洋.
Ku帯デュアルSPDT RF-MEMSスイッチの開発,
第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,
Oct. 2010.
-
Winston Sun,
Daisuke Yamane,
Yuheon Yi,
Hiroshi. Toshiyoshi,
Hiroyuki Fujita,
Kiyotaka Yamashita.
A Loaded-Line Phase Shifter Using MEMS Switches,
第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,
Oct. 2009.
国際会議発表 (査読なし・不明)
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A 1-mG MEMS Sensor,
229th ECS Meeting,
May 2016.
公式リンク
-
Katsuyuki Machida,
Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu.
CMOS -MEMS -New Frontier of Multilevel Interconnect Technology-,
2015 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2015),
pp. 201,
Apr. 2015.
公式リンク
-
Hiroshi Toshiyoshi,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
A Mixed-Design Technique for Integrated MEMS using a Circuit Simulator with HDL,
Mixed Design of Integrated Circuits and Systems (MIXDES 2013),
2013.
公式リンク
-
Kazuya Masu,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi.
How can we bridge the gap between photonics and Si CMOS LSI?,
The 2nd International Symposium on Photonics and Electronics Convergence -Advanced Nanophotonics and Silicon Device Systems-(ISPEC 2012),
pp. E-2,
Dec. 2012.
-
Hiroyuki Fujita,
Hiroshi Toshiyoshi,
Tadashi Ishida.
From MEMS-CMOS towards Heterogeneous Integration over Scale,
221st ECS Meeting,
May 2012.
-
Daisuke Yamane,
Hiroshi Toshiyoshi.
Monolithic integration of passive RF components by MEMS,
IEEE 2011 International Symposium on VLSI Design, Automation and Test (VLSI-DAT),
Apr. 2011.
-
Daisuke Yamane,
Kazuhiro Takahashi,
Winston Sun,
Harunobu Seita,
Shigeo Kawasaki,
Hiroyuki Fujita,
Hiroshi Toshiyoshi.
Microwave Switches by MEMS Technology and their Application to Phase-Shifter,
Second Japan-Taiwan Workshop on Future Frequency Control Devices,
Dec. 2007.
-
Daisuke Yamane,
Kazuhiro Takahashi,
Winston Sun,
Harunobu Seita,
Shigeo Kawasaki,
Hiroyuki Fujita,
Hiroshi Toshiyoshi.
RF-MEMS Switches for 5.8 GHz Phase Shifter Application,
Int. Workshop on Piezo-devices based on Latest MEMS Technologies,
Nov. 2007.
国内会議発表 (査読なし・不明)
-
Chiu Wan-Ting,
曽根正人,
年吉洋,
細田秀樹.
金属基生体材料の表面改質および組織制御を基軸とした新材料設計,
2021年日本金属学会秋期講演大会, 第169回日本金属学会秋期大会講演概要,
Sept. 2021.
-
新島 宏文,
乙部 翔太,
高安 基大,
山根 大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
伊藤 浩之,
年吉 洋,
町田 克之,
益 一哉.
高感度MEMS加速度センサのBrownian Noise評価に関する検討,
第64回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2018.
-
橘 航一朗,
Chang Tso-Fu Mark,
Chen Chun-Yi,
小西 敏文,
町田 克之,
年吉 洋,
山根 大輔,
益 一哉,
曽根 正人.
積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの疲労特性の検討,
応用物理学会 2017年春季講演会,
応用物理学会 2017年春季講演会,
p. 14p-P3-12,
Mar. 2017.
-
佐布 晃昭,
小西 敏文,
山根 大輔,
年吉 洋,
曽根 正人,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル技術による3軸MEMS加速度センサのばね定数設計方法,
応用物理学会 2017年春季講演会,
応用物理学会 2017年春季講演会,
p. 14p-P3-17,
Mar. 2017.
-
小西敏文,
山根 大輔,
佐布 晃昭,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサにおける粘性定数の検討,
応用物理学会 2017年春季講演会,
応用物理学会 2017年春季講演会,
p. 14p-P3-16,
Mar. 2017.
-
中島 英亮,
Chang Tso-Fu Mark,
陳 君怡,
小西 敏文,
町田 克之,
年吉 洋,
山根 大輔,
益 一哉,
曽根 正人.
積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価(2),
応用物理学会 2017年春季講演会,
応用物理学会 2017年春季講演会,
p. 14p-P3-15,
Mar. 2017.
-
山根 大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
中島 英亮,
寺西 美波,
陳 君怡,
Chang Tso-Fu Mark,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価(1),
応用物理学会 2017年春季講演会,
応用物理学会 2017年春季講演会,
p. 14p-P3-14,
Mar. 2017.
-
鈴木 拓真,
Chang Tso-Fu Mark,
Chen Chun-Yi,
小西 敏文,
町田 克之,
年吉 洋,
山根 大輔,
益 一哉,
曽根 正人.
積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの温度依存性のシミュレーションの検討,
応用物理学会 2017年春季講演会,
応用物理学会 2017年春季講演会,
p. 14p-P3-11,
Mar. 2017.
-
山根大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ,
第77回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 14p-P5-2,
Sept. 2016.
公式リンク
-
佐布 晃昭,
小西 敏文,
山根大輔,
年吉 洋,
曽根 正人,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法(I),
第77回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 15p-B10-8,
Sept. 2016.
公式リンク
-
山根大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
伊藤 浩之,
道正 志郎,
石原 昇,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル差動型MEMS加速度センサの基礎検討,
第77回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 14p-P5-3,
Sept. 2016.
公式リンク
-
小西 敏文,
山根大輔,
伊藤 浩之,
道正 志郎,
石原 昇,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
CMOS-MEMS慣性センサにおける機械的ノイズの解析手法,
第77回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 14p-P5-1,
Sept. 2016.
公式リンク
-
山根大輔,
小西敏文,
年吉 洋,
益 一哉,
町田克之.
Sub-1G検出へ向けた積層メタル3軸加速度センサの基礎検討,
電子情報通信学会2016年総合大会,
pp. C-10-16,
Mar. 2016.
-
小西敏文,
山根大輔,
佐布晃昭,
年吉 洋,
曽根正人,
益 一哉,
町田克之.
積層メタル構造を用いた MEMS 加速度センサのストッパーのロバスト性検討,
第63回応用物理学会春季学術講演会,
pp. 21p-P17-17,
Mar. 2016.
-
山根大輔,
小西敏文,
伊藤浩之,
年吉 洋,
益 一哉,
町田克之.
Sub-1G 検出へ向けた CMOS-MEMS 加速度センサの検討,
第63回応用物理学会春季学術講演会,
pp. 21p-P17-18,
Mar. 2016.
-
佐布晃昭,
小西敏文,
松島隆明,
山根大輔,
年吉 洋,
曽根正人,
益 一哉,
町田克之.
MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価,
第76回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 15a-PB4-3,
Sept. 2015.
-
小西敏文,
山根大輔,
高安基大,
伊藤浩之,
道正志郎,
石原昇,
益 一哉,
年吉 洋,
町田克之.
ゲイン制御型CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討,
第76回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 15a-PB4-2,
Sept. 2015.
-
山根大輔,
小西敏文,
年吉 洋,
益 一哉,
町田克之.
Sub-1G?20G集積化MEMS加速度センサの基本評価,
第76回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 15a-PB4-3,
Sept. 2015.
-
寺西美波,
Chang Tso-Fu Mark,
山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
伊藤浩之,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉,
曽根正人.
電解金めっきで作製した微小カンチレバーの形状安定性評価,
平成27年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会,
pp. 15-18,
July 2015.
公式リンク
-
高安 基大,
山根 大輔,
小西 敏文,
亀井 将太,
伊藤 浩之,
道正 志郎,
石原 昇,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
慣性センサを用いた移動体制御の基礎検討,
平成27年 電気学会 センサ・マイクロマシン部門総合研究会,
July 2015.
-
寺西美波,
Tso-Fu Mark Chang,
小西敏文,
松島隆明,
町田克之,
年吉 洋,
山根大輔,
伊藤浩之,
益 一哉,
曽根正人.
電解金めっきで作製したMEMSデバイスにおける動作構造安定性,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
p. 7,
July 2015.
-
高安 基大,
山根 大輔,
小西 敏文,
伊藤 浩之,
道正 志郎,
石原 昇,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
MEMS慣性センサを用いた移動体制御の検討,
第6回 集積化MEMS技術研究ワークショップ,
July 2015.
-
小西敏文,
山根大輔,
松島隆明,
益 一哉,
年吉 洋,
町田克之.
エネルギーハーべスティングデバイスの検討(5),
第62回応用物理学会春季学術講演会,
p. 12-125,
Mar. 2015.
公式リンク
-
山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
Sub-1G検出可能な3軸MEMS加速度センサの基礎検討,
平成27年電気学会全国大会,
Mar. 2015.
公式リンク
-
山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
Sub-1Gから20Gまで検知可能な集積化MEMS加速度センサの検討,
第62回応用物理学会春季学術講演会,
p. 17-189,
Mar. 2015.
公式リンク
-
亀井将太,
山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
集積化CMOS?MEMS加速度センサへ向けたsub-1G静電容量型センサの検討,
第75回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 13-065,
Sept. 2014.
公式リンク
-
小西敏文,
山根大輔,
松島隆明,
益 一哉,
年吉 洋,
町田克之.
エネルギーハーべスティングデバイスの検討(4),
第75回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 13-067,
Sept. 2014.
公式リンク
-
松島隆明,
小西敏文,
山根大輔,
年吉 洋,
益 一哉,
町田克之.
積層メタル構造による3軸加速度センサの検討,
第75回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 13-066,
Sept. 2014.
公式リンク
-
小西敏文,
山根大輔,
松島隆明,
益 一哉,
年吉 洋,
町田克之.
マルチフィジックスシミュレータを用いたCMOS-MEMS加速度センサの検討,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
pp. P7,
July 2014.
公式リンク
-
山根大輔,
亀井将太,
小西敏文,
松島隆明,
年吉 洋,
益 一哉,
町田克之.
集積化CMOS-MEMS加速度センサへ向けたsub-1Gセンサ,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
pp. P4,
July 2014.
公式リンク
-
松島隆明,
小西敏文,
山根大輔,
亀井将太,
年吉 洋,
益 一哉,
町田克之.
積層メタルによる静電容量型3軸加速度センサの基礎検討,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
pp. P5,
July 2014.
公式リンク
-
山根大輔,
松島隆明,
小西敏文,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
集積化CMOS-MEMSへ向けた2軸加速度センサの基礎検討,
平成26年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会,
pp. MSS-14-002,
May 2014.
公式リンク
-
小西敏文,
加賀谷 賢,
山根大輔,
松島隆明,
伊藤浩之,
石原 昇,
益 一哉,
町田克之,
年吉 洋.
エネルギーハーベスティングデバイスの検討(3),
第61回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2014.
公式リンク
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松島隆明,
小西敏文,
山根大輔,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
アレイ型MEMS加速度センサ-2軸MEMS加速度センサの検討-,
第61回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2014.
公式リンク
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山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
Sub-1G MEMS加速度センサの検討,
第61回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2014.
公式リンク
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山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
MEMS加速度センサによるSub-1G検出の基礎検討,
平成26年電気学会全国大会,
Mar. 2014.
公式リンク
-
加賀谷 賢,
小西敏文,
山根大輔,
松島隆明,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
エネルギーハーベスティングデバイスの検討(2),
第61回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2014.
公式リンク
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小西敏文,
山根大輔,
松島隆明,
町田克之,
益 一哉,
年吉 洋.
CMOSとMEMS集積のためのシミュレーション解析-集積化CMOS-MEMSデバイス実現に向けて-,
電子情報通信学会 シリコン・フォトニクス研究会,
SIPH2013-99,
Oct. 2013.
公式リンク
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加賀谷 賢,
小西敏文,
山根大輔,
松島隆明,
佃 真文,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
エネルギーハーベストデバイスの検討(1),
第74回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 18p-P11-5,
Sept. 2013.
公式リンク
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山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
加賀谷 賢,
佃 真文,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
アレイ型MEMS加速度センサの基本特性評価,
第74回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(MEMS、NEMSの基礎と応用:異種機能集積化),
pp. 18p-P11-4,
Sept. 2013.
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小西敏文,
山根大輔,
松島隆明,
丸山智史,
加賀谷 賢,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
集積化CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討,
第74回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(MEMS、NEMSの基礎と応用:異種機能集積化),
pp. 18p-P11-3,
Sept. 2013.
-
佃 真文,
山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
加賀谷 賢,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
アレイ型MEMS加速度センサの基礎検討,
平成25年度電気学会センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会,
pp. MSS-13-001,
Aug. 2013.
公式リンク
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山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
加賀谷 賢,
佃 真文,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
金メッキ集積化CMOS-MEMSによるアレイ型加速度センサの小型化,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第4回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
July 2013.
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小西敏文,
丸山智史,
山根大輔,
松島隆明,
町田克之,
益 一哉,
年吉 洋.
回路シミュレータを用いた集積化CMOS-MEMSのための統合設計環境の構築,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第4回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
July 2013.
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町田克之,
小西敏文,
山根大輔,
年吉洋,
益一哉.
集積化CMOS-MEMS技術の検討,
平成25年度電気学会全国大会・シンポジウム(S24)ワイヤレス通信応用RF-MEMS技術,
Mar. 2013.
-
小西敏文,
山根大輔,
本橋 剛,
加賀谷 賢,
松島隆明,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益一哉.
アレイ型MEMS加速度センサの設計,
第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL(MEMS、NEMSの基礎と応用:異種機能集積化),
Mar. 2013.
-
山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
本橋 剛,
加賀谷 賢,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益一哉.
アレイ型MEMS加速度センサの検討,
第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL(MEMS、NEMSの基礎と応用:異種機能集積化),
Mar. 2013.
-
加賀谷 賢,
小西敏文,
山根大輔,
本橋 剛,
松島隆明,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益一哉.
アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの評価,
第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL(MEMS、NEMSの基礎と応用:異種機能集積化),
Mar. 2013.
-
本橋 剛,
小西 敏文,
松島 隆明,
山根 大輔,
伊藤 浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田 克之,
益一哉.
アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討(4),
2012年秋期第73会応用物理学会学術講演会,
Sept. 2012.
公式リンク
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松島 隆明,
小西 敏文,
本橋 剛,
山根 大輔,
伊藤 浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田 克之,
益 一哉.
アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討(3),
2012年秋期第73会応用物理学会学術講演会,
Sept. 2012.
公式リンク
-
山根大輔,
本橋剛,
小西敏文,
松島隆明,
伊藤浩之,
石原昇,
年吉洋,
町田克之,
益一哉.
アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討,
July 2012.
-
小西 敏文,
丸山 智史,
松島 隆明,
三田 信,
町田 克之,
伊藤 浩之,
石原 昇,
益一哉,
藤田 博之,
年吉 洋.
集積化 CMOSCMOS--MEMSMEMS のための統合設計技術統合設計技術の検討 (2),
第 72 回応用物理学会学術講演会,
第 72 回応用物理学会学術講演会 講演予稿集(2011 秋 山形大学) 30a-E-14,
応用物理学会,
p. 22-014,
Aug. 2011.
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山根大輔,
藤田博之,
年吉洋.
機能レイヤ分離設計によるSOI RF-MEMS受動素子に関する研究,
固体エレクトロニクス・光エレクトロニクス研究会,
Mar. 2011.
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張鋭,
山根大輔,
藤田博之,
年吉 洋.
RF-MEMS技術による可変メタマテリアル導波路の設計と試作,
電気学会E部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会),
pp. 13-17,
July 2009.
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山根大輔,
Winston Sun,
清田 晴信,
川崎 繁男,
年吉 洋.
Ku帯移相器用DPDT型RF-MEMSスイッチの設計と評価,
平成21年電子情報通信学会全国大会,
Mar. 2009.
-
山根大輔,
Winston Sun,
清田 晴信,
川崎 繁男,
藤田 博之,
年吉 洋.
導波路/アクチュエータのレイヤ分離構造設計技術によるRF-MEMSスイッチ,
平成20年電気学会全国大会,
Mar. 2008.
-
山本 剛司,
清田 春信,
川崎 繁男,
山下 清隆,
石崎 俊雄,
田村 昌也,
山根大輔,
年吉 洋,
篠原 真毅,
三谷 友彦.
LTCC基板を用いたアクティブ集積フェーズドアレイアンテナ用移相器の試作,
電子情報通信学会マイクロ波研究会(MW研究会),
Dec. 2007.
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山根大輔,
高橋 一浩,
Winston Sun,
清田 晴信,
川崎 繁男,
藤田 博之,
年吉 洋.
アクティブフェイズドアレイアンテナの移相器応用RF-MEMSスイッチ,
平成19年度電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会,
July 2007.
-
山根大輔,
Winston Sun,
年吉 洋.
RF-MEMSスイッチに関する研究動向報告,
The First Active Phased Array Antenna Symposium,
Mar. 2007.
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