論文

• Kazuya Fujita, Kosuke Suzuki, Keisuke Asano, Chun-Yi Chen, Tomoyuki Kurioka, Katsuyuki. Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang. Simultaneous Necking and Barreling Deformation Behaviors in Bending of Single Crystal Gold Micro-Cantilever, Materials, MDPI, Vol. 17, No. 16, p. 4054, Aug. 2024.  公式リンク  
  
• Ryohei Hori, Kazuya Fujita, Chun Yi Chen, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Cross-Sectional Geometry Effect on Bending Strength of Gold Micro-Cantilever with Trapezoidal Cross-Section, Micro and Nano Engineering, Vol. 23, p. 100259, May 2024.  公式リンク  
  
• Syota Kanno, Taro Omura, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang. Effect of Strain Rate in Compression Electrodeposited Gold Micro-Pillar toward Design of MEMS Component, Micro and Nano Engineering, Vol. 23, p. 100254, Apr. 2024.  公式リンク  
  
• Syunkai Watanabe, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Dependence of Structural Design on Effective Young’s Modulus of Ti/Au Multi-Layered Micro-Cantilevers  , Micro and Nano Engineering, Vol. 29, p. 100249, Mar. 2024.  公式リンク  
  
• Ryosuke Miyai, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Clarification of Geometric Effects on Long-Term Structural Stability of Ti/Au Multi- Layered Micro-Cantilevers, Micro and Nano Engineering, Vol. 23, p. 100244, Mar. 2024.  公式リンク  
  
• Kisuke Miyado, Devi Srujana Tenneti, Akira Onishi, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Serpentine Spring Design Technique for High Sensitivity MEMS Capacitive Accelerometer Fabricated by Gold Multi-layer Metal Technology, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 63, No. 4, p. 04SP23, Feb. 2024.  公式リンク  
  
• Taro Omura, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki ; Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Warpage Study of the Electrodeposited-Au Micro-Components Having the Ti/Au Multi-layered Structures toward MEMS Applications, Journal of The Electrochemical Society, Vol. 171, p. 032501, Feb. 2024.  公式リンク  
  
• Takumi Akiyama, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Impurity Analysis of Electroplated Gold Components with Multi-Layered Structures by Thermal Desorption Spectrometry toward Application in Gold Micro Electro Mechanical System Capacitive Accelerometers  , Micro and Nano Engineering, Vol. 21, p. 100226, Sept. 2023.  公式リンク  
  
• Kosuke Suzuki, Yiming Jiang, Ryohei Hori, Ken Hashigata, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Correlation of Sample Geometry and Grain Size in Micro-Bending of Electrodeposited Polycrystalline Gold, Materials Today Communications, Vol. 35, p. 106072, Apr. 2023.  公式リンク  
  
• Akira Onishi, Kisuke Miyado, Devi Srujana Tenneti, Katsuyuki Machida, Parthojit Chakraborty, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Gold Single-Axis Differential Capacitive MEMS Accelerometer With Proof-Mass Position Control Electrode Fabricated by Post-CMOS Technology, 2023 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL), 2023 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL), Mar. 2023.  公式リンク  
  
• Kohei Shibata, Akihiro Uchiyama, Akira Onishi, Katsuyuki Machida, Parthojit Chakraborty, Shin-ichi Iida, Toshifumi Konishi, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Simplified Analytical Damping Constant Model for Design of MEMS Capacitive Accelerometer with Gold Perforated Proof-mass Structure, IEEE Sensors Journal, Vol. 22, Issue 15, June 2022.  公式リンク  
  
• Akira Onishi, Kohei Shibata, Akihiro Uchiyama, Katsuyuki Machida, Taiki Ogata, Noboru Ishihara, Hirotaka Uchitomi, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Suppressed Drift and Low-Noise Sensor Module with a Single-Axis Gold Proof-Mass MEMS Accelerometer for Micro Muscle Sound Measurement, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 61, p. SD1028, Mar. 2022.  公式リンク  
  
• Taro Omura, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Effect of Current Density on Micro-Mechanical Property of Electrodeposited Gold Film Evaluated by Micro-Compression, Surface & Coatings Technology, Elsevier, Vol. 436, p. 128315, Feb. 2022.  公式リンク  
  
• Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Yoshihiro Miyake, Kazuya Masu. A Highly Sensitive MEMS Accelerometer Module for Measuring Micro Muscular Sounds, ECS Transactions, Vol. 104, No. 4, pp. 83-91, Oct. 2021.
• Hitomi Watanabe, Tso-Fu Mark Chang, Michael Schneider, Ulrich Schmid, Chun-Yi Chen, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Effective Young’s Modulus of Complex Three Dimensional Multilayered Ti/Au Micro-Cantilevers Fabricated by Electro-deposition and the Temperature Dependency, Electrochem, MDPI, Vol. 2, pp. 216-223, Apr. 2021.  公式リンク  
  
• Yu-An Chien, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Co-Electrodeposition of Au-TiO2 Nanocomposite and the Micro-Mechanical Properties, Electrochem, MDPI, Vol. 1, No. 4, pp. 388-393, Nov. 2020.  公式リンク  
  
• Kazuya Masu, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Ryo Shigeyama, Taiki Ogata, Yoshihiro Miyake. CMOS-MEMS Based Microgravity Sensor and Its Application, ECS Transactions, Vol. 97, No. 5, pp. 91-108, Apr. 2020.  公式リンク  
  
• Kyotaro Nitta, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone. Alloy Electroplating and Young’s Modulus Characterization of AuCu Alloy Microcantilevers, Journal of The Electrochemical Society, IOP Science, Vol. 167, pp. 082503, Apr. 2020.  公式リンク  
  
• Kyotaro Nitta, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone. Fabrication of Au-Cu Alloy/Ti Layered Micro-Cantilevers and the Long-Term Structure Stability, IEEE Sensors 2019, IEEE Conference Paper, 2019 IEEE SENSORS, Jan. 2020.  公式リンク  
  
• Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Naoto Tanaka, Taiki Ogata, Hiroki Ora, Daisuke Yamane, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, Kazuya Masu. High-Sensitivity Inertial Sensor Module to Measure Hidden Micro Muscular Sounds, IEEE Biomedical Circuits and Systems Conference 2019 (BioCAS2019), IEEE Conference Paper, IEEE, Oct. 2019.  公式リンク  
  
• Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Yaw-Wang Chai, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Nanoscale Hierarchical Structure of Twins in Nanograins Embedded with Twins and the Strengthening Effect, Metals, MDPI, Vol. 9, No. 9, pp. 987, Sept. 2019.  公式リンク  
  
• Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Shin-ichi Iida, Noboru Ishihara, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu. MEMS Accelerometer Fabricated by Gold Multi-Layer Metal Technology, ECS Transactions, Vol. 92, pp. 169-184, July 2019.  公式リンク  
  
• Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Strengthening of Micro-Cantilever by Au/Ti Bi-Layered Structure Evaluated by Micro-Bending Test toward MEMS Devices, Microelectronic Engineering, Vol. 213, pp. 13-17, May 2019.
• Kyotaro Nitta, Tso-Fu Mark Chang, Koichiro Tachibana, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Cu-Alloying Effect on Structure Stability of Electrodeposited Gold-Based Micro-Cantilever Evaluated by Long-Term Vibration Test, Microelectronic Engineering, Vol. 215, pp. 111001, May 2019.
• Ken Atsumi, Shota Otobe, Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Pillar-Shaped Electrodes for 3-axis Gold-Proof-Mass MEMS Capacitive Accelerometers, Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP2019), IEEE Conference Paper, IEEE, May 2019.  公式リンク  
  
• Koichiro Tachibana, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Long-Term Structure Stability of Ti/Au Layered Micro-Cantilever Evaluated by Vibration Test, Microelectronic Engineering, Volume 207, pp. 33-36, Jan. 2019.
• Motohiro Takayasu, Ippei Tsuji, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Shiro Dosho, Toshifumi Konishi, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Microgravity Generation Using Tilting Board for Resolution Evaluation of MEMS Accelerometer, Sensors and Materials, Vol. 30, No. 12, pp. 2919-2926, Dec. 2018.
• Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Promoted bending strength in micro-cantilevers composed of nanograined gold toward MEMS applications, Microelectronic Engineering, Elsevier, Vol. 196, pp. 20-24, June 2018.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shin-ichi Iida, Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Temperature Characteristics of MEMS Inertial Sensor Fabricated by Gold Multi-Layer Metal Technology, 13th Annual IEEE International Conference on Nano-Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2018), pp. WM-II-f₃243, Apr. 2018.  公式リンク  
  
• Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone. Enhancement in Structure Stability of Gold Micro-Cantilever by Constrainted Fixed-End in MEMS devices, Microelectronic Engineering, Vol. 187-188, pp. 105-109, Apr. 2018.
• Hao-Chun Tang, Ken Hashigata, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Sample size effect on micro-mechanical properties of gold electroplated with dense carbon dioxide, Surface and Coatings Technology, Elsevier, Vol. 350, pp. 1065-1070, Mar. 2018.
• Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Au-Cu Alloys Prepared by Pulse Electrodeposition toward Applications as Movable Micro-Components in Electronic Devices, Journal of The Electrochemical Society, Vol. 165, No. 2, pp. D58-D63, Jan. 2018.
• Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu. A 0.18-?m CMOS time-domain capacitive-sensor interface for sub-1mG MEMS accelerometers, IEICE Electronics Express, Vol. 15, no. 2, p. 20171227, Jan. 2018.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. LONG-TERM VIBRATION CHARACTERISTICS OF MEMS INERTIAL SENSORS BY MULTI-LAYER METAL TECHNOLOGY, Proceedings of the 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), IEEE Conference Publications, pp. 2187 - 2190, Aug. 2017.
• Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone. A Study on Young’s Modulus of Electroplated Gold Cantilevers for MEMS Devices, Proceedings of the 12th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, IEEE Conference Publications, pp. 264 - 267, Aug. 2017.
• Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Micro-Bending Testing of Electrodeposited Gold for Applications as Movable Components in MEMS Devices, Microelectronic Engineering, Vol. 180, pp. 15-19, June 2017.
• Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Deformation Behavior of Electroplated Gold Composed of Nano-Columnar Grains Embedded in Micro-Columnar Textures, Materials Letters, Vol. 202, pp. 82-85, May 2017.
• Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Tensile Tests of Micro-Specimens Made of Electroplated Gold, Microelectronics Engineering, Vol. 174, pp. 6-10, Apr. 2017.
• Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. High-Strength Electroplated Au-Cu Alloys as Micro-components in MEMS Devices, Journal of The Electrochemical Society, Vol. 164, No. 4, pp. D244-D247, Apr. 2017.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. Evaluation and Modeling of Adhesion Layer in Shock-Protection Structure for MEMS Accelerometer, Microelectronics Reliability, Vol. 66, pp. 78-84, Nov. 2016.
• Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Damping Constant Model for Proof-Mass Structure Design of MEMS Inertial Sensor by Multi-Layer Metal Technology, IEEE Sensors 2016, IEEE Proceeding, pp. 1162-1164, Oct. 2016.  公式リンク  
  
• Kazuya Masu, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Masato Sone, Yoshihiro Miyake. Development of High Sensitivity CMOS-MEMS Inertia Sensor and its Application to Early-Stage Diagnosis of Parkinson's Disease, the 46th European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC), the 46th European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC), pp. 99-104, Sept. 2016.  公式リンク  
  
• Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Enhancement of Mechanical Strength in Au Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide, Electrochemistry Communications, Vol. 72, pp. 126-130, Sept. 2016.  公式リンク  
  
• Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Brittle Fracture of Electrodeposited Gold Observed by Micro-Compression, Materials Transactions, Vol. 57, No. 8, pp. 1257-1260, July 2016.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A 1-mG MEMS Sensor, ECS Transactions, vol. 72, no. 3, pp. 7-14, May 2016.
• Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Pulse Electroplating of Ultra-Fine Grained Au Films with High Compressive Strength, Electrochemistry Communications, Vol. 67, Page 51-54, Apr. 2016.
• Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone. Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layer Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers, Microelectronics Engineering, Vol. 153, pp. 90-93, Apr. 2016.
• Y. Nishimura, M. Ishida, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, K. Masu, C. Wang, K. Iida, M. Saito, S. Yoshida. Observation of Stress Responses of Bacteria Confined in a MEMS Microfluidic Chip, ECS Trans., Vol. 69, No. 10, pp. 259-267, Oct. 2015.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A 0.1G-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor, Japanese Journal of Applied Physics, The Japan Society of Applied Physics, Volume 54, Number 8, pp. 087202.1-087202.4, July 2015.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Sub-1G MEMS Sensor, ECS Transactions, The Electrochemical Society, volume 66, No. 5, pp. 131-138, May 2015.
• 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 亀井 将太, 益 一哉, 町田 克之. 高感度静電容量型センサにおけるBrownian Noise評価手法, 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）, 一般社団法人 電気学会, vol. 135, no. 4, pp. 142-143, Apr. 2015.
• Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Dual-Axis MEMS Capacitive Inertial Sensor with High-Density Proof Mass, Microsystem Technologies, Springer Berlin Heidelberg, Vol. 22, pp. 459-464, Apr. 2015.
• Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu. Integrated CMOS-MEMS Technology and Its Applications, ECS Transactions, The Electrochemical Society, volume 61, no. 6, pp. 21-39, May 2014.
• Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi. A capacitive CMOS-MEMS sensor designed by multi-physics simulation for integrated CMOS-MEMS technology, Japanese Journal of Applied Physics, vol. 53, pp. 04EE15.1-7, Mar. 2014.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu. Design of sub-1g microelectromechanical systems accelerometers, Applied Physics Letters, Vol. 104, No. 7, pp. 74102, Feb. 2014.
• Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi. An arrayed accelerometer device of a wide range of detection for integrated CMOS-MEMS technology, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 53, pp. 27202, Jan. 2014.
• Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Novel Sensor Structure and its Evaluation for Integratd Complementary Metal Oxide Semiconductor Microelectromechanical Systems Accelerometer, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 52, No. 6, pp. 06GL04, June 2013.
• Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Satoshi Maruyama, Makoto Mita, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi. A Single-platform Simulation and Design Technique for CMOS-MEMS Based on a Circuit Simulator with Hardware Description Language, IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 22, no. 3, pp. 755-767, 2013.
• Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi. Multi-Physics Equivalent Circuit Model for MEMS Sensors and Actuators, ECS Transactions, The Electrochemical Society, volume 50, no. 14, pp. 55-61, Oct. 2012.

著書

• Tso-Fu Mark Chang, Hideaki Nakajima, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone. Effective Young’s Modulus of Elelectrodeposited Gold for Design of MEMS Accelerometers, Advances in Microelectronics: Reviews, IFSA PUBLISHING, S.L., Vol. 3, Apr. 2021.
• Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Yaw-Wang Chai, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Nanoscale Hierarchical Structure of Twins in Nanograins Embedded with Twins and the Strengthening Effect, Dislocation Mechanics of Metal Plasticity and Fracturing (RonaldW. Armstrong, Ed), MDPI, pp. 87-96, Nov. 2020.  公式リンク  
• Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida. Pulse-Current Electrodeposition of Gold, Novel Metal Electrodeposition and the Recent Application, IntechOpen, Mar. 2019.
• Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida. Electrodeposition of Gold Alloys and the Mechanical Properties, Novel Metal Electrodeposition and the Recent Application, IntechOpen, Mar. 2019.
• Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Yota Ishizuka, Minami Teranishi, Takuma Suzuki, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Design of Au-Based Micro-Components with High Structure Stability for Applications in MEMS Inertial Sensors, Advances in Microelectronics Reviews, IFSA Publishing, Vol. 2, pp. 23-48, Feb. 2019.  公式リンク  
• Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hao-Chun Tang, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Fabrication and Characterization of High Strength Electrodeposited Gold toward High-Sensitive MEMS Inertial Sensors, Advances in Microelectronics Reviews, IFSA Publishing, Vol. 1, pp. 93-106, Dec. 2017.
• 益一哉, 町田克之, 年吉洋, 江刺 正喜, 藤田博之, 石田誠, 田中 秀治, 高橋 一浩, 越田信義, 小山 英樹, 佐々木 実, 秦誠一, 橋口 原, 高尾 英邦, 永瀬 雅夫, 山口 浩司, 北澤 正志, 前中 一介, 澤田和明, 柴崎 一郎, 野村聡, 竹内 幸裕, 柴田 英毅, 楢崎 祥一, 鈴木 雄二, 西岡 泰城, 森村 浩季, 日暮 栄治, 千野 満, 内山 直己, 足立 秀喜, 井上 晴伸, 橋本 秀樹. 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用?MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合?, 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用?MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合?, 株式会社 シーエムシー出版, Nov. 2012.

国際会議発表 (査読有り)

• Shota Kanno, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Yung-Jung Hsu, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Micro-Mechanical Property of Electrodeposited Gold: Designing Movable Components in MEMS Devices, The 2024 International Conference on Green Electrochemical Technologies and the 2024 Annual Meeting of Electrochemical Society of Taiwan (2024 ICGET-TW), Nov. 2024.
• Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Tomoyuki Kurioka, Chun-yi Chen, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake. Material Property Control of Multi-layered Ti/Au Microcomponents by Electroplating Toward Ultra high-Sensitive MEMS Inertial Sensors, 2024 ICGET-Tw: The 2024 International Conference on Green Electrochemical Technologies and the 2024 Annual Meeting of Electrochemical Society of Taiwan, 2024 ICGET-Tw, Nov. 2024.
• Tatsuhiko Mori, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Evaluation of Warpage Behavior of an Octagonal Electrodeposited-Au Proof Mass with a Ti/Au Multi-Layered Structures caused by Thermal Treatment, CPIT2024, New Method of Damage and Failure Analysis of Structural Part, CPIT2024, New Method of Damage and Failure Analysis of Structural Part, Oct. 2024.
• Tomoyuki Kurioka, Takumi Akiyama, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Thermal Treatment Effects on Warpage of an Octagonal Electrodeposited-Au Proof Mass with a Ti/Au Multi-layered Structure Toward High-sensitive Accelerometers, CPIT2024, New Method of Damage and Failure Analysis of Structural Part, CPIT2024, New Method of Damage and Failure Analysis of Structural Part, Oct. 2024.
• Shunkai Watanabe, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Tenneti Devi Srujana, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Investigation of Effects of Applied Voltage on Effective Young’s modulus of Ti/Au Multi-Layered Micro-Cantilevers” New Method of Damage and Failure Analysis of Structural Part, CPIT2024, New Method of Damage and Failure Analysis of Structural Part, New Method of Damage and Failure Analysis of Structural Part, CPIT2024, New Method of Damage and Failure Analysis of Structural Part, Oct. 2024.
• Masato Sone, Ryohei Hori, Kazuya Fujita, Kosuke Suzuki, Ken Hashigata, Keisuke Asano, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake. Effects of Sample Geometry and Grain Size on Mechanical Property of Electrodeposited Dold and Gold-Copper Alloys by Micro-\bending Test Toward MEMS Applications, CPIT2024, New Method of Damage and Failure Analysis of Structural Part, CPIT2024, New Method of Damage and Failure Analysis of Structural Part, CPIT2024, New Method of Damage and Failure Analysis of Structural Part, Oct. 2024.
• Syunkai Watanabe, Shunkai Watanabe, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Tenneti Devi Srujana, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Dependence of Applied Voltage on Effective Young’s Modulus of Ti/Au Multi-Layered Micro-Cantilevers for MEMS Capacitive Accelerometers, 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier), 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier), Sept. 2024.
• Tatsuhiko Mori, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Thermal Treatment Effects on Warpage of an Octagonal Electrodeposited-Au Proof Mass with a Ti/Au Multi-layered Structure Toward High-sensitive Accelerometers, 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier), 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier), Sept. 2024.
• Devi Srujana Tenneti, Kisuke Miyado, Chihaya Mukaide, Torauto Yamada, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Suppression of Warpage in Perforated Proof-Mass of Gold Single-Axis MEMS Accelerometers for Micro-g Level Sensing, 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier), 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier), Sept. 2024.
• Kisuke Miyado, Torauto Yamada, Devi Srujana Tenneti, Chihaya Mukaide, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Effect of Perforated Proof-Mass Hole Size on Device Characteristics of Gold Single-Axis MEMS Accelerometer for Micro-g Level Sensing, 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier), 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier), Sept. 2024.
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• Hao-chun Tang, Chun-yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Micro-Mechanical Property Evaluation of Electroplated Au-Cu Alloys toward Applications in MEMS Accelerometers, 21th International Conference on Solid State Ionics, SSI-21, SSI-21, June 2017.
• Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. FEM Simulation on Structure Stability of Ti/Au Multi-Layered Cantilevers with Various Dimensions for Applications as Movable Structures in MEMS Devices, 21th International Conference on Solid State Ionics, June 2017.
• Chun-Yi Chen, Hao-chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Electroplated Au-based Materials with High Micro-mecchanical Properties as MEMS accelerometer Components, 21th International Conference on Solid State Ionics, SSI-21, SSI-21, June 2017.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Long-Term Vibration Characteristics of MEMS Inertial Sensors by Multi-Layer Metal Technology, The 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017), pp. 2187-2190, June 2017.  公式リンク  
  
• Chun-Yi Chen, Hao-Chun Tang, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Preparation and Characterization of Au-Cu Alloy Films for MEMS Accelerometer, 21st Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry, Apr. 2017.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, Kazuya Masu. MEMS inertial sensors for biomedical applications, 12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017), Apr. 2017.  公式リンク  
  
• Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone. A Study on Young’s Modulus of Electroplated Gold Cantilevers for MEMS Devices, IEEE-NEMS 2017, IEEE-NEMS 2017, Apr. 2017.
• Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Fine Grained Au Films with Controllable Mechanical Strength by Pulse Plating, The 2016 PRiME Meeting, Oct. 2016.
• Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. High Strength Au film Fabricated by Advanced Electrochemical Technique in Supercritical CO2 Emulsified Electrolyte for MEMS Accelerometers, Separation Techniques 2016,2nd International Conference and Expo on Separation Techniques, Separation Techniques 2016, Sept. 2016.
• Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Enhanced mechanical property of metallic films with supercritical carbon dioxide for micro-electrical-mechanical system accelerometer, The 15th Symposium on Development of Supercritical Fluid Technology and Application and The 2nd International Workshop on Supercritical Fluid Dyeing Technology, Sept. 2016.
• Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Micro-Bending Tests of Pure Gold Cantilevers for Applications as Movable Components in MEMS Devices, MNE2016, 42nd Micro& Nano Engineering, MNE2016, 42nd Micro& Nano Engineering, Sept. 2016.
• Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Enhancement of Mechanical Properties in Au Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide, MNE2016, 42nd Micro& Nano Engineering, MNE2016, 42nd Micro& Nano Engineering, Sept. 2016.
• Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Mechanical Behaviour of Electroplated Gold Evaluated by Micro-Tensile Test for Application in MEMS Accelerometer, MNE2016, 42nd Micro& Nano Engineering, MNE2016, 42nd Micro& Nano Engineering, Sept. 2016.
• Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Controllable Mechanical Properties of Au Films by Pulse Electroplating for MEMS Accelerometer, MNE2016, 42nd Micro& Nano Engineering, MNE2016, 42nd Micro& Nano Engineering, Sept. 2016.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Spring Design for Tri-axis MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology, 2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016), pp. 485-486, Sept. 2016.  公式リンク  
  
• Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Electrodeposited Gold for Next Generation MEMS Accelerometer Toward Medical Applications (Invited Lecture), Integrative Biology-2016, International Conference on Integrative Biology Summit, Integrative Biology-2016, OMICS International, July 2016.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Novel MEMS Inertial Sensor With Out-of-plane Differential Sensing Structure By Multi-layer Metal Technology, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016), pp. 299-300, June 2016.  公式リンク  
  
• Yusuke Nishimura, Onishi Shuhei, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada, Hiromu Ishii, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Changle Wang, Mitsumasa Saito, Shinichi Yoshida. COMPARISON OF BACTERIAL STRESS RESPONSES BETWEEN LEGIONELLA PNEUMOPHILA AND LEGIONELLA DUMOFFII TRAPPED IN A MEMS MICROFLUIDIC CHIP, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016), pp. 87-88, June 2016.  公式リンク  
  
• Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Masakazu Sonobe, Takumi Kobayashi, Yamato Fukuta, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A study of railroad vehicle control by inertial sensors, 11th World Congress on Railway Research (11th WCRR), May 2016.
• Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Pulse Electroplating of Au Films with Ultra High Strength, 229th ECS Meeting, May 2016.
• Yota Ishizuka, Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone. Electroplated Gold Materials with Enhanced Mechanical Strength by Multi-Layered Structure, ISE - Topical Meeting, ISE - Topical Meeting, Apr. 2016.
• Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Study of Gold Electroplating by Constant and Pulse Current Method with Non-Cyanide Gold Sulfite Electrolyte, ISE - Topical Meeting, ISE - Topical Meeting, Apr. 2016.
• Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Pulse Electroplating of Ultra-Fine Grained Au Films with High Strength for Micro-Electrical-Mechanical System Devices, ISE - Topical Meeting, ISE - Topical Meeting, Apr. 2016.
• Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone. Mechanical Characteristics of Structure Stability with Ti/Au Micro-Cantilevers Formed by Au Electroplating, ISE - Topical Meeting, ISE - Topical Meeting, Apr. 2016.
• Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone. Preparation and Characterization of Gold Films by Electroplating with Supercritical Carbon Dioxide, ISE - Topical Meeting, ISE - Topical Meeting, Apr. 2016.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A MEMS Inertia Sensor with Brownian Noise of Below 50 nG/Hz^1/2 by Multi-Layer Metal Technology, IEEE Inertial Sensors 2016, pp. 148-149, Feb. 2016.  公式リンク  
  
• Y. Nishimura, M. Ishida, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, K. Masu, C. Wang, K. Iida, M. Saito, S. Yoshida. Stress Responses of Bacteria, Legionella, Confined in MEMS Microfluidic Chip, 9th Int’l Symp. on Nanomedicine (ISNM2015), Dec. 2015.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Sub-1G CMOS-MEMS Accelerometer, IEEE Sensors 2015, pp. 513-516, Nov. 2015.
• Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Micro-Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Thin Films, TACT 2015 International Thin Films Conference, TACT 2015 International Thin Films Conference, Nov. 2015.
• Y. Nishimura, M. Ishida, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, K. Masu, C. Wang, K. Iida, M. Saito, S. Yoshida. Observation of Stress Responses of Bacteria Confined in a MEMS Microfluidic Chip, The 228th Electrochemical Society Fall Meeting, Oct. 2015.
• Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone. Study on Ti/Au Two-Layered Cantilevers with different Aspect Ratio for MEMS Devices, SSDM2015, 2015 International Conference on Solid State Devises and Materials, SSDM2015, 2015 International Conference on Solid State Devises and Materials, pp. 52-53, Sept. 2015.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. Robustness of Integrated Stoppers for MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layered Metal Technology, SSDM2015, 2015 International Conference on Solod State Devices and Materials, SSDM2015, 2015 International Conference on Solod State Devices and Materials, pp. 786-787, Sept. 2015.
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• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Low Mechanical Noise Tri-axis MEMS Ineretial Sensor Fabricated by Multi-layered Metal Technology, 41st Micro and Nano Engineering (MNE2015), pp. Wed-C-p11, Sept. 2015.
• Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida. Novel Gain-Controlled Sensor Circuits Designed by Multi-physics Simulation for CMOS-MEMS Accelerometer, 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), pp. 798-799, Sept. 2015.
• Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. High Mechanical Strength Gold Micro-Components Fabricated by Pulse Electroplating, MNE2015, 41th International Conference on Micro and Nano Engineering, MNE2015, pp. Wed-C-p5, Sept. 2015.
• Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone. Sample Size Effect on Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Evaluated by Micro-Compression Test, MNE2015, 41th International Conference on Micro and Nano Engineering, MNE2015, pp. Wed-C-p19, Sept. 2015.
• Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone. Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layered Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers, MNE2015, The 41th International Conference on Micro and Nano Engineering, MNE2015, The 41th International Conference on Micro and Nano Engineering, pp. Wed-C-p81, Sept. 2015.
• Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone. Mechanical Properties of Electrodeposited Gold for Application in MEMS, SSDM2015, 2015 International Conference on Solid State Devises and Materials, SSDM2015, 2015 International Conference on Solid State Devises and Materials, pp. 48-49, Sept. 2015.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Masato Sone, Katsuyuki Machida. A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology, AMC2015, Advanced Metallization Conference, AMC2015, Sept. 2015.
• Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Compression deformation of micro-components fabricated by FIB from gold electrodeposited films, International Symposium for Advanced Materials Research, ISAMR2015, ISAMR2015, pp. P13, Aug. 2015.
• Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Masaki Yano, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Tatsuo Sato, Masato Sone. Stability of Movable Structure Formed by Au Electroplating for MEMS Devices, ICMAT2015 & IUMRS-ICA2015,, ICMAT2015 & IUMRS-ICA2015,, June 2015.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Sub-1G MEMS Sensor, the 227th ECS Meeting, pp. 1332, May 2015.
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• Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A MEMS Energy Harvesting Device for Integrated CMOS-MEMS Technology, 27th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), pp. 6C-5-5, Nov. 2014.  公式リンク  
  
• Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida. A Novel Electromechanical Model of a MEMS Energy Harvesting Device for a Multi-physics Simulation Platform on a Circuit Simulator, International Conference on Solid State Devices and Materials, p. 100-101, Sept. 2014.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Sub-1G Tri-axis MEMS Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers, International Conference on Solid State Devices and Materials, p. 974-975, Sept. 2014.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Sub-1G Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers, 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT2014), pp. P2-55, June 2014.  公式リンク  
  
• Yusuke Shiino, Hiroyuki Ito, Taku Fujiwara, Noboru Ishihara, Hisashi Yamanouchi, Hiroki Tanabe, Satoshi Nomura, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. An Ultra Low Power pH-Monitoring IC with a Duty-Cycling Wireless FM-Transmitter, The 2014 IEEE International Symposium on Circuits and Systems (ISCAS), June 2014.  公式リンク  
  
• R. Hayashi, Y. Nishimura, H. Nakazawa, M. Ishida, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, N. Ishihara, K. Masu, C. Wang, K. Iida, M. Saito, S. Yoshida. PDMA-Based Microfluidic Chip for Detection of Legionella pneumophila by Mixing with Microbeads, The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT), June 2014.
• Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu. Integrated CMOS-MEMS Technology and its Application, The 2nd Int. Symp. on More-than-Moore, the 225th Meeting of the Electrochemical Society, May 2014.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Tri-Axis MEMS Capacitive Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Integrated CMOS-MEMS Accelerometer, 2014 IEEE International Interconnect Technology Conference/Advanced Metallization Conference (IITC/AMC 2014), pp. 113-116, May 2014.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Dual-Axis MEMS Inertial Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Arrayed CMOS-MEMS Accelerometer, Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP2014), pp. 69-72, Apr. 2014.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Sub-1G MEMS Accelerometer, IEEE SENSORS 2013, pp. 171-174, Nov. 2013.  公式リンク  
  
• Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Satoshi Maruyama, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Novel Sensor Circuits Design Using Multi-physics Simulation for CMOS-MEMS Technology, 2013 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2013), pp. G-4-2, Sept. 2013.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. AN ARRAYED MEMS ACCELEROMETER WITH A WIDE RANGE OF DETECTION, 17th Int. Conf on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013), pp. 22-25, June 2013.  公式リンク  
  
• Hiroshi Toshiyoshi, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Multi-Physics Simulation Technique for Integrated MEMS, 2012 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM 2012), Dec. 2012.  公式リンク  
  
• Youngshik Shin, Katsube Kyohei, Kazuaki Sawada, Makoto Ishida, Hiromu Ishii, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Kenichiro Iida, Mitsumasa Saito, Shinichi Yoshida. Fabrication of Bio-MEMS Device for on-chip Testing of the Bacteria Behavior, 第29回センサ・マイクロマシンとその応用システム, Oct. 2012.
• Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Gou Motohashi, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Evaluation of a Capacitive Sensor with a Gold Proof Mass Toward Integrated CMOS-MEMS Accelerometers, 25th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012), Oct. 2012.  公式リンク  
  
• Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi. Multi-physics Equivalent Circuit Models for MEMS Sensors and Actuators, The 1st Int. Symp. on More-than-Moore, the 222nd Meeting of the Electrochemical Society / The 2012 Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science (PRiME), Oct. 2012.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Gou Motohashi, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Novel Sensor Structure and its Fabrication Process for Integrated CMOS-MEMS Accelerometer, 2012 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012), Sept. 2012.  公式リンク  
  
• Toshifumi Konishi, Satoshi Maruyama, Makoto Mita, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi. A CMOS-MEMS Design Technique based on an Electrical Circuit Simulator with Hardware Description Language, 2012 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012), Sept. 2012.  公式リンク  
  
• Kyohei Katsube, Ryuhei Hayashi, Youngshik Shin, Hirokazu Nakazawa, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada, Hiromu Ishii, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Yuta Takekawa, Changle Wang, Kenichiro Iida, Mitsumasa Saito, Mitsumasa Fujii, Shinichi Yoshida. Bio-MEMES Chip for Trapping Bacteria by Si-pillar Structure and Its Application to Legionella, The Sixth Asia-Pacific Conferenceon Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT), IEEE, July 2012.  公式リンク  
  
• Youngshik Shin, Kyohei Katsube, Kazuaki Sawada, Makoto Ishida, Hiromu Ishii, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Kenichiro Iida, Mitsumasa Saito, Shinichi Yoshida. Fabrication of Bio-MEMS Device for on-, Heterogeneous Integration Challenges of MEMS, Sensor and CMOS LSI Symp.B, 2012 MRS Spring Meeting, JSAP-MRS, Apr. 2012.  公式リンク  
  
• Toshifumi Konishi, Satoshi Maruyama, Takaaki Matsushima, Makoto Mita, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi. A SPICE-based Multi-physics Seamless Simulation Platform for CMOS-MEMS, 2010 International Conference on Solid State Devices and Materials, Extended Abstracts of the 2010 International Conference on Solid State Devices and Materials, 2010 International Conference on Solid State Devices and Materials, pp. 1158-1159, Sept. 2010.
• Taku Fujiwara, Noboru Ishihara, Shuhei Amakawa, Hisashi Yamauchi, Hiroki Tanabe, Satoshi Nomura, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Wearably Small Low-Power Wireless pH Sensor Module Incorporating an lon-sensitive Field-Effect Transtor, The 13th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS-13), The 13th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS-13), The 13th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS-13), p. 378, July 2010.

国内会議発表 (査読有り)

• 渡邉春海, 栗岡智行, 陳君怡, Tso-Fu Mark Chang, TENNETIDEVI, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人. MEMS 加速度センサのための Ti/Au 多層カンチレバーの 実効ヤング率に対する測定電圧依存性に関する研究, Future Technologies fromSENDAI 2024 第 16 回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Nov. 2024.
• 菅野 翔太, 大村 太郎, 栗岡 智行, Chun-Yi Chen, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人. MEMS加速度センサへの応用に向けためっき金の微小圧縮試験によるひずみ速度依存性調査, 第71回応用物理学会春季学術講演会, Proc. The 71st JSAP Spring MeetinProc., p. 23a-12K-3, Mar. 2024.
• 宮井 良介, 栗岡 智行, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人. Ti/Au 積層構造有するマイクロカンチレバーの 構造安定性に対する熱処理の影響評価, 第71回応用物理学会春季学術講演会, Proc. The 71st JSAP Spring MeetinProc., p. 23a-12K-1, Mar. 2024.
• 森 達彦, 栗岡 智行, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人. Ti/Au 積層電気金めっき錘の反り変形の熱処理温度依存性評価, 第71回応用物理学会春季学術講演会, Proc. The 71st JSAP Spring MeetinProc., p. 23a-12K-2, Mar. 2024.
• 御宿 希祐, 大西 哲 Tenneti Devi Srujana 町田克之, TENNETI DEVI, 町田 克之, 栗岡 智行, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之. Au錘１軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのための錘位置制御電極の検討, 第15回集積化MEMSシンポジウム, 第15回集積化MEMSシンポジウム論文集, 応用物理学会集積化MEMS技術研究会, Vol. 8A2-D-4, Oct. 2023.
• 御宿 希祐, 大西 哲, Devi Srujana Tenneti, 町田 克之, 栗岡智行, CHAKRABORTYP, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之. Au積層メタル技術によるMEMSデバイスの九十九折ばね定数ばらつき抑制の検討, 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 第84回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集, Vol. 20p-B201-1, Sept. 2023.
• 御宿 希祐, Tenneti Devi Srujana, 町田 克之, 栗岡 智行, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 三宅 美博, 伊藤 浩之. 1 軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのFB電圧による錘変位特性の検討, 第14回集積化MEMS技術研究ワークショップ, p04, Aug. 2023.
• 御宿 希祐, 大西哲, TENNETIDEVI, 町田克之, CHAKRABORTYP, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之. Au積層メタル技術によるMEMSデバイスのための九十九折ばね設計手法の検討, 第70回応用物理学会春季学術講演会, 第70回応用物理学会春季学術講演会, 16a-B410-6, Mar. 2023.
• 保里 亮平, 藤田 一矢, Chun-Yi Chen, 栗岡 智行, Tso-Fu Mark Chang, Parthojit Chakraborty, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人. 単結晶金微小カンチレバーの曲げ強度に対する断面積の影響, 第70回応用物理学会春季学術講演会, 第70回応用物理学会春季学術講演会, p. 16a-B410-4, Mar. 2023.
• 渡邉 春海, Chen Chun-Yi, 栗岡 智行, Chang Tso-Fu Mark, 大西 哲, Parthojit Chakraborty, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人. Ti/Au 多層カンチレバーの実効ヤング率における構造因子の研究, 第70回応用物理学会春季学術講演会, 第70回応用物理学会春季学術講演会, p. 16a-B410-4, Mar. 2023.
• 菅野 翔太, 大村 太郎, 栗岡 智行, Chun-Yi Chen, Parthojit Chakraborty, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang. 金めっき微小ピラー構造体の微小圧縮試験におけるひずみ速度依存性とサンプルサイズ効果の解明, 第70回応用物理学会春季学術講演会, 第70回応用物理学会春季学術講演会, p. 16a-B410-2, Mar. 2023.
• 宮井 良介, 栗岡 智行, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 大西 哲, Parthojit Chakraborty, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人. Ti/Au 積層構造有するマイクロカンチレバーの長期構造安定性に対する幾何学構造の影響, 第70回応用物理学会春季学術講演会, 第70回応用物理学会春季学術講演会, p. 16a-B410-5, Mar. 2023.
• 御宿 希祐, 大西哲, TENNETIDEVI, CHAKRABORTYP, 町田克之, 飯田慎一, 小西敏文, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之. エッチホールを有するAu錘構造のMEMS加速度センサの減衰定数簡易解析モデルの検討, 第83回応用物理学会秋季学術講演会, 第83回応用物理学会秋季学術講演会, 22a-A406-2, Sept. 2022.
• 御宿 希祐, 大西哲, TENNETIDEVI, CHAKRABORTYP, 町田克之, 飯田慎一, 小西敏文, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之. Au錘MEMS容量型加速度センサにおける減衰定数簡易解析モデルの検討, 第13回集積化MEMS技術研究ワークショップ, Aug. 2022.
• ⼤村 太郎, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Chang, ⼭根 ⼤輔, 伊藤浩之, 町⽥克之, 三宅美博, 曽根正⼈. ⾦めっき材料における機械的特性の電流密度依存性, 2022年応⽤物理学会春季講演会, Mar. 2022.
• 秋⼭ 拓海, CHIENYu-An, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Chang, 伊藤浩之, 町⽥克之, 三宅美博, 曽根正⼈. MEMSデバイスへの応⽤に向けた⾦ニッケル合⾦の微⼩機械的特性 の評価, 2022年応⽤物理学会春季講演会, Mar. 2022.
• 保⾥ 亮平, 藤⽥ ⼀⽮, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Chang, 伊藤浩之, 町⽥克之, 三宅美博, 曽根正⼈. Au単結晶の微⼩カンチレバーの機械的特性における断⾯形状依存性, 2022年応⽤物理学会春季講演会, Mar. 2022.
• 藤田 一矢, 鈴木 康介, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人. 金単結晶微小カンチレバーの機械的特性とサンプル形状効果, 第82回応用物理学会秋季学術講演会, 第82回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2021.
• 曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, 名越貴志, 町田 克之, 山根 大輔, 伊藤浩之, 益 一哉. 医用MEMSデバイス応用に向けた 微小貴金属めっき材料の機械的特性評価, 日本金属学会 2021年春季講演大会, 日本金属学会 2021年春季講演大会, Mar. 2021.
• 市川 崇志, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 石原 昇, 伊藤 浩之, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術で作製したMEMS加速度センサの衝撃特性評価, 第11回集積化MEMSシンポジウム, 19pm4-A-4, Nov. 2019.
• 古賀 達也, 市川 崇志, 田中 直登, 緒方 大樹, 大良 宏樹, 山根 大輔, 石原 昇, 伊藤 浩之, 曽根 正人, 町田 克之, 三宅 美博, 益 一哉. 微弱筋音計測に向けた高分解能MEMS慣性センサモジュールの検討, 第11回集積化MEMSシンポジウム, 19pm4-A-3, Nov. 2019.
• Tso-Fu Mark Chang, Yu-An Chien, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Strengthening of Gold-Based Micro-Structures by Alloying and Incorporation of Oxide Nanoparticles, 第80回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2019.
• 曽根正人, タン ハオチュン, Tso-Fu Mark Chang, 陳君怡, 山根大輔, 町田克之, 益一哉. 超高感度加速度センサ実現のための高強度金合金材料の創製とその機械的特性評価, 2019年 関西表面技術シンポジウム, 電気鍍金研究会, July 2019.
• 新田 京太朗, Tang Haochun, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人. 電気めっき法によるAu-Cu合金微小カンチレバーの作製, 第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.
• 鈴木 康介, Ken Hashigata, 浅野 啓介, Chun-Yi Chen, 名越 貴志, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人. 微小曲げ試験による金材料の機械的強度のサンプル形状効果, 第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.
• 渥美 賢, 乙部 翔太, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術によるピラー型容量検出電極の検討, 第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.
• 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討, 第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.
• 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 3軸Au錘MEMS加速度センサにおける平行平板型電極の検討, 第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.
• 渡邊 瞳, 鈴木 拓真, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人. Ti/Au微小カンチレバーの温度依存性への積層構造の影響, 第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.
• 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討, 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）, Oct. 2018.  公式リンク  
  
• Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Solid Solution Strengthening of Gold Based Materials for MEMS Applications, The 35th SENSOR SYMPOSIUM on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Oct. 2018.
• 乙部 翔太, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. シングルAu錘と分割電極容量検出(SCD)方式を用いた3軸全差動MEMS加速度センサ, 第10回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2018.  公式リンク  
  
• 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. Au単一錘平行平板型3軸MEMS加速度センサの検討, 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）, Oct. 2018.
• 中島 英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 益 一哉, 曽根 正人. MEMS加速度センサに向けた金めっき微小カンチレバーのヤング率 に関する検討, 第79回応用物理学会秋季学術講演会, 第79回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2018.
• 伊藤 浩之, ?根 ?輔, 小西敏文, 道正 志郎, ?原 昇, 町? 克之, 曽根 正?, 三宅 美博, 益 ?哉. 集積化CMOS-MEMS技術による?感度慣性センサと応?システム, 応用物理学会第65回春季講演会, 応用物理学会第65回春季講演会, Mar. 2018.
• TangHao-Chun, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, ⼭根⼤輔, 小西敏文, 町⽥ 克之, 益 ⼀哉, 曽根 正⼈. 電解めっき法によるMEMS⽤⾦銅合⾦の作製及び機械的特性評価, 応用物理学会第６５回春季講演会, 応用物理学会第65回春季講演会, Mar. 2018.
• 中島英亮, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, ⼭根⼤輔, 小西敏文, 町⽥ 克之, 年吉洋, 益 ⼀哉, 曽根 正⼈. 電解めっき法によるTi/Au微⼩カンチレバーのヤング率評価, 応用物理学会第６５回春季講演会, 応用物理学会第65回春季講演会, Mar. 2018.
• 新⽥ 京太朗, 橘 航⼀朗, TangHao-Chun, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, ⼭根 ⼤輔, 小西敏文, 町⽥ 克之, 益 ⼀哉, 曽根 正⼈. ⻑期振動試験によるAu-Cu合⾦微⼩カンチレバーの構造安定性, 応用物理学会第６５回春季講演会, 応用物理学会第65回春季講演会, Mar. 2018.
• 浅野 啓介, TangHao-Chun, Chun-Yi Chen, 名越 貴志, Tso-Fu Mark Chang, ⼭根⼤輔, 小西敏文, 町⽥ 克之, 益 ⼀哉, 曽根 正⼈. 電析制御による微⼩⾦カンチレバーの曲げ特性の改善, 応用物理学会第６５回春季講演会, 応用物理学会第65回春季講演会, Mar. 2018.
• 古賀 達也, 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討, 第9回 集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2017.  公式リンク  
  
• 大西 脩平, 崔 容俊, 石田 誠, 澤田 和明, 石井 仁, 町田克之, 益 一哉, 二階堂 靖彦, 齋藤 光正, 吉田 眞一. フォトゲート型蛍光センサを用いたレジオネラの蛍光観測, 第9回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2017.  公式リンク  
  
• 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタルMEMS慣性センサの長期振動特性評価, 第9回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2017.  公式リンク  
  
• 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. 積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討, 第9回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2017.  公式リンク  
  
• 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術を用いたMEMS加速度センサの傾斜計応用の検討, 第9回集積化MEMSシンポジウム, 01pm1-A-6, Oct. 2017.  公式リンク  
  
• 新島 宏文, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉. 静電容量型MEMSセンサにおけるブラウニアン・ノイズ評価手法の検討(2), 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 01am2-PLN-8, Oct. 2017.  公式リンク  
  
• 折原 恒祐, 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの検討, 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 31am3-PLN-2, Oct. 2017.  公式リンク  
  
• 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 3軸MEMS加速度センサにおける単一Au錘および電極分割方式の検討, 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Oct. 2017.  公式リンク  
  
• 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉. MEMS慣性センサ用弛張発振型容量検出回路, 第9回 集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2017.
• 曽根正人, Tso-Fu Mark Chang, Chun-yi Chen, 山根大輔, 益一哉, 町田克之. 微小電気機械システムのための超臨界流体を用いた金属皮膜形成技術 （招待講演）, 第6回CSJ化学フェスタ, 第6回CSJ化学フェスタ, 日本化学会, Nov. 2016.
• 小西 敏文, 山根大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS慣性センサのノイズ解析手法, 第8回集積化MEMSシンポジウム, p. 25am2-PM-007, Oct. 2016.  公式リンク  
  
• 大西 脩平, 西村 祐典, 石田 誠, 澤田 和明, 石井 仁, 町田 克之, 益 一哉, 王 常楽, 飯田 健一郎, 齋藤 光正, 吉田 眞一. マイクロ流路チップを用いたレジオネラ・ニューモフィラとレジオネラ・デュモフィのストレス応答の観測, 第8回集積化MEMSシンポジウム, p. 25am2-PM-019, Oct. 2016.
• 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之. 積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法, 第8回集積化MEMSシンポジウム, p. 25pm4-PM-008, Oct. 2016.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ, 第8回集積化MEMSシンポジウム, p. 25am2-PM-001, Oct. 2016.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. 差動型積層メタルMEMS加速度センサの検討, 第8回集積化MEMSシンポジウム, p. 25am2-PM-003, Oct. 2016.  公式リンク  
  
• 權田 惇晟, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術によるMEMS加速度センサを用いた慣性センサモジュールの検討, 集積化MEMSシンポジウム, p. 25pm4-PM-006, Oct. 2016.  公式リンク  
  
• 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 石原 昇, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉. RC発振器型高感度容量検出回路, 第8回 集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2016.
• 浅野 啓介, TangHao-Chun, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人, 名越貴志. 微小曲げ試験による金めっきで作製した微小カンチレバーの機械的特性評価, 第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Oct. 2016.
• 柳田佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人, 名越貴志. 微小引張試験片を用いたMEMS用金めっき材料の機械的特性の評価, 第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Oct. 2016.
• 葭葉将治, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人, 名越貴志. 高感度MEMS加速度センサー用金電気めっきの変形挙動および強度の結晶方位依存性評価, 第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Oct. 2016.
• 寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋. 電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価, 第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Oct. 2016.
• 曽根 正人, Chang Tso-Fu Mark, 陳 君怡, 山根 大輔, 益 一哉, 町田 克之. 高感度MEMS加速度センサーのための金めっき材料の合成とその機械的特性評価 （招待講演）, 日本学術振興会・第172委員会, 日本学術振興会・第172委員会, Oct. 2016.
• Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. High Mechanical Strength in Gold Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide for MEMS Applications, 第77回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 15a-B10-13, Sept. 2016.  公式リンク  
  
• 寺西 美波, TSO-FU MARK CHANG, 陳 君怡, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人. 電解金めっきで作製したTi/Au微小カンチレバーの構造安定性, 第63回応用物理学会春季学術講演会, 第63回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2016.
• Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone. Application of Supercritical Carbon Dioxide in Electroplating of Gold Materials Used in MEMS Devices, 第63回応用物理学会春季学術講演会, 第63回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2016.
• 石塚 陽大, 柳田 佐理, TSO-FU MARK CHANG, 陳 君怡, 町田 克之, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人, 益 一哉, 曽根 正人. マイクロ圧縮試験による金/チタン積層構造の機械的特性評価, 第63回応用物理学会春季学術講演会, 第63回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2016.
• 葭葉 将治, 陳 君怡, TSO-FU MARK CHANG, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人. マイクロ圧縮試験によるMEMS用金電気めっきの機械的特性の評価, 第63回応用物理学会春季学術講演会, 第63回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2016.
• 浅野 啓介, Tang Hao-Chun, 陳 君怡, TSO-FU MARK CHANG, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人. マイクロ曲げ試験による電析金薄膜の機械的特性評価, 第63回応用物理学会春季学術講演会, 第63回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2016.
• 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. 移動体制御における慣性センサ適用性の検討, 第7回 集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2015.
• 山根大輔, 小西敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之. Sub-1G?20G集積化MEMS慣性センサ, 第7回集積化MEMSシンポジウム, pp. 29pm3-PM-2, Oct. 2015.
• 西村 祐典, 石田 誠, 澤田 和明, 石井 仁, 町田 克之, 益 一哉, 王 常楽, 飯 田 健一郎, 齋藤 光正, 吉田 眞一. マイクロ流路内でのレジオネラ属菌のストレス応答, 第7回集積化MEMSシンポジウム, pp. 30pm1-D-3, Oct. 2015.
• 佐布 晃昭, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根正人, 益 一哉, 町田克之. MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価, 第7回集積化MEMSシンポジウム, pp. 29pm3-PM-5, Oct. 2015.
• 小西敏文, 山根大輔, 高安基大, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 益 一哉, 年吉 洋, 町田克之. マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS 加速度センサのためのゲイン制御センサ回路の検討, 第7回集積化MEMSシンポジウム, pp. 29pm2-D-4, Oct. 2015.
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 亀井将太, 益 一哉, 町田克之. 高感度静電容量型センサにおけるブラウニアン・ノイズ評価の検討, 第６回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Oct. 2014.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之. 集積化ＣＭＯＳ?ＭＥＭＳ技術によるＳｕｂ-１Ｇ加速度センサの基礎検討, 第６回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Oct. 2014.  公式リンク  
  
• 西村 祐典, 林 隆平, 中澤 寛一, 石田 誠, 澤田 和明, 石井 仁, 町田 克之, 益 一哉, 王 常楽, 飯田 健一郎, 齋藤 光正, 吉田 眞一. マイクロビーズを用いたPDMS製マイクロ流路チップへのレジオネラ菌捕獲の検討, 応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMSシンポジウム, p. 22pm1-C1, Oct. 2014.
• 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 益 一哉, 年吉洋, 町田克之. 回路シミュレータを用いたＭＥＭＳエネルギーハーベスティングデバイスの検討, 第６回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Oct. 2014.  公式リンク  
  
• 松島隆明, 山根大輔, 小西敏文, 年吉洋, 益 一哉, 町田克之. Ａｕ積層形成技術による３軸ＭＥＭＳ加速度センサの検討, 第６回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Oct. 2014.  公式リンク  
  
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• 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 佃 真文, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. エネルギーハーベストデバイスの小型化の検討, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第５回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, pp. 6PM3-PIM-003, Nov. 2013.  公式リンク  
  
• 伊藤浩之, 小西敏文, 山根大輔, 石原 昇, 町田克之, 益 一哉. ミキサファーストRF 受信機のためのMEMS 共振器ミキサの検討, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第５回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, pp. 7AM2-E-8, Nov. 2013.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 丸山智史, 加賀谷 賢, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. マルチフィジクスシミュレーションを用いた集積化CMOS-MEMS技術のためのセンサ回路の検討, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第５回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, pp. 6PM3-PIM-001, Nov. 2013.  公式リンク  
  
• Youngshik Shin, Katsube Kyohei, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada, Hiromu Ishii, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Kenichiro Iida, Mitsumasa Saito, Shinichi Yoshida. Fabrication of Microfluidic Device for On-chip Observation of Bacterial Behavior, 第29回センサ・マイクロマシンとその応用システム，電気学会, Oct. 2012.  公式リンク  
  
• 林隆平, 勝部恭平, 辛永式, 中澤寛一, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 飯田健一郎, 齋藤光正, 藤井潤, 吉田眞一. MEMS型細菌捕獲チップの製作とレジオネラを用いた評価, 第29回センサ・マイクロマシンとその応用システム，電気学会, Oct. 2012.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 本橋 剛, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益一哉. アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの検討, 応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2012.  公式リンク  
  
• 伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 石原 昇, 町田克之, 益一哉. RFミキサ回路のため高速MEMSスイッチの検討, 応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2012.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 丸山智史, 三田信, 山根大輔, 伊藤浩之, 町田克之, 石原 昇, 益一哉, 藤田博之, 年吉 洋. ハードウェア記述言語を用いた集積化CMOS-MEMS統合設計技術, 応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2012.  公式リンク  
  
• 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益一哉. 統合設計技術のためのMEMS加速度センサのモデルの検討, 応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2012.  公式リンク  
  
• 本橋 剛, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益一哉. 0.35μｍCMOS-LSIによるMEMSセンサ用VCO回路の検討, 応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2012.  公式リンク  
  
• Youngshik Shin, Katsube Kyohei, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada, Hiromu Ishii, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Kenichiro Iida, Mitsumasa Saito, Mitsumasa Fujii, Shinichi Yoshida. Fabrication of microfluidic device for the bacteria observation, 第3回集積化MEMS技術研究ワークショップ, July 2012.
• 勝部恭平, 林隆平, 辛永式, 中澤寛一, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 王常楽, 竹川雄太, 飯田健一郎, 齋藤光正, 藤井潤, 吉田眞一. 集積化ＭＥＭＳ技術による細菌迅速診断チップの開発, 第3回集積化MEMS技術研究ワークショップ, July 2012.
• 山根大輔, 本橋 剛, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益一哉. アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討, 応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催 第3回集積化MEMS技術研究ワークショップ, July 2012.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 本橋剛, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉. アレイ型CMOS-MEMS 加速度センサの検討 (2), 第59 回応用物理学関係連合講演会, 第59 回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集, 応用物理学会, pp. 22-020, Mar. 2012.
• 本橋剛, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉. アレイ型CMOS-MEMS 加速度センサの検討(1), 第59 回応用物理学関係連合講演会, 第59 回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集, 応用物理学会, pp. 22-019, Mar. 2012.
• 勝部 恭平, 林隆平, 辛 永式, 中澤寛一, 石田 誠, 澤田 和明, 石井 仁, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉, 飯田 健一郎, 齋藤 光正, 藤井 潤, 吉田 眞一. 細菌迅速検出用マイクロチップ? ‐細菌の捕獲状態と蛍光強度‐, 第59 回応用物理学関係連合講演会, 第59 回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集, 応用物理学会, pp. 22-043, Mar. 2012.
• 林隆平, 勝部恭平, 中澤寛一, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 飯田健一郎, 齋藤光正, 藤井潤, 吉田眞一. 細菌迅速検出用マイクロチップ? ‐蛍光色素を用いた細菌検出条件の検討‐, 第59 回応用物理学関係連合講演会, 第59 回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集, 応用物理学会, pp. 22-044, Mar. 2012.
• 本橋 剛, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 伊藤浩之, 益一哉, 町田克之. 0.35μｍCMOS-LSIによるMEMSセンサ用VCO回路の検討, 2012.
• 藤原 琢, 石原 昇, 天川 修平, 山内 悠, 田邉 裕貴, 野村 聡, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一. ISFET を用いたワイヤレス pH センサモジュール, 2010 年 電子情報通信学会総合大会, 2010 年 電子情報通信学会総合大会, 2010 年 電子情報通信学会総合大会, pp. 42, Mar. 2010.

国際会議発表 (査読なし・不明)

• Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu. Sub-1mG MEMS Inertial Sensor for Biomedical Applications, The 20th Takayanagi Kenjiro Memorial Symposium joined with the 4th International Conference on Nano Electronics Research and Education（ICNERE2018）, Nov. 2018.
• Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu. High-Resolution MEMS Accelerometer by Multi-Layer Metal Technology, Taiwan-Japan-US Joint Workshop on Energy Materials and Sustainable Development, Sept. 2018.
• Kazuya Masu, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake. CMOS-MEMS accelerometer with gold proof-mass and its application in diagnosis of Parkinsons Disease, 4th International Conference on Condensed Matter and Materials Physics, Aug. 2018.
• Onishi, S., Joon, C. Y., Ishida, M., Sawada, K., Ishii, H., Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Nikaido, Y., Saito, M., Yoshida, S.. Detection of Bacterial Fluorescence by the Combination of MEMS Microfluidic Chip and Si Photodetector toward On-chip Biological Sensing, Symposium on Semiconductor Process Integration 10 held during the 232nd Meeting of the Electrochemical-Society (ECS), SEMICONDUCTOR PROCESS INTEGRATION 10, ELECTROCHEMICAL SOC INC, Vol. 80, No. 4, pp. 157-164, 2017.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A 1-mG MEMS Sensor, 229th ECS Meeting, May 2016.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Konishi, T., Safu, T., Toshiyoshi, H., Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A design of spring constant arranged for MEMS accelerometer by multi-layer metal technology, 2016 IEEE 11th Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2016, pp. 419-422, 2016.
• Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Sub-1G MEMS Inertial Sensor, International Symposium for Advanced Materials Research (ISAMR 2015), Aug. 2015.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Nano-G metrology system and its biomedical applications by CMOS-MEMS technology, 3rd Int'l Conf. on Integrative Biology, Biological Systems: Open Access, OMICS International Conferences, Volume 4, pp. 87, Aug. 2015.
• Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu. CMOS -MEMS -New Frontier of Multilevel Interconnect Technology-, 2015 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2015), pp. 201, Apr. 2015.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. MEMS for sensing sub-1G, The First Joint Workshop on Electrical Engineering between Tokyo Tech &, pp. 19, Nov. 2014.
• Kazuya Masu, Ishihara, N., Konishi, T., Katsuyuki Machida, Toshiyoshi, H.. Challenges in integration of diverse functionalities on CMOS, Proceedings of the Asia and South Pacific Design Automation Conference, ASP-DAC, pp. 390-393, 2013.
• Ishii, H., Sawada, K., Ishida, M., Katsuyuki Machida, Iida, K., Saito, M., Yoshida, S.. Bio-MEMS chip for bacteria detection-a challenge of si technology to biomedical field, ECS Transactions, Vol. 58, No. 9, pp. 125-133, 2013.
• Maruyama, S., Konishi, T., Katsuyuki Machida, Ishihara, N., Kazuya Masu, Fujita, H., Toshiyoshi, H.. A time-multiplexed electrostatic drive and sample interface circuit for MEMS optical scanners, International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, pp. 21-22, 2013.
• Hiroshi Toshiyoshi, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Mixed-Design Technique for Integrated MEMS using a Circuit Simulator with HDL, Mixed Design of Integrated Circuits and Systems (MIXDES 2013), 2013.  公式リンク  
  
• Kazuya Masu, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi. How can we bridge the gap between photonics and Si CMOS LSI?, The 2nd International Symposium on Photonics and Electronics Convergence -Advanced Nanophotonics and Silicon Device Systems-(ISPEC 2012), pp. E-2, Dec. 2012.

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 宮井 良介, 栗岡 智行, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人. 静電容量型MEMS 加速度センサーのための Ti/Au 積層マイクロカンチレバーの構造安定性に対する熱処理の影響評価, Future Technologies fromSENDAI 2024 第 16 回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Nov. 2024.
• 柴田滉平, 内山晃宏, 大西哲, 李尚曄, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 伊藤浩之. Au錘1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討, 第13回集積化MEMSシンポジウム, Nov. 2021.
• 大西哲, 内山晃宏, 柴田滉平, 市川崇志, 李尚曄, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. 3次元容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討, 第13回集積化MEMSシンポジウム, Nov. 2021.
• 内山晃宏, 柴田滉平, 大西哲, 市川崇志, 飯田慎一, 李尚曄, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. ワイドレンジAu錘1軸MEMS加速度センサの検討, 第13回集積化MEMSシンポジウム, Nov. 2021.
• 大西哲, 内山晃宏, 柴田滉平, 市川崇志, 李尚曄, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. 3D容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討, 第82回 応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2021.
• 柴田滉平, 内山晃宏, 大西哲, 李尚曄, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. 1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討, 令和3年度E部門総合研究会, July 2021.
• 市川 崇志, 古賀 達也, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉, 伊藤 浩之. 単一 Au 錘 3 軸加速度センサのための分割容量検出 2 重電極に関する検討, 令和2年度E部門総合研究会, July 2021.
• 内山晃宏, 市川崇志, 柴田滉平, 飯田慎一, 李尚曄, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. ワイドレンジ検出可能なAu錘1軸MEMS加速度センサ の検討, 応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2021.
• 市川 崇志, 内山晃宏, 古賀 達也, 町田 克之, 石原昇, 益 一哉, 飯田 慎一, 伊藤 浩之. 100 nG/√Hz レベルを目指した分割 2 重電極を有する単一Au錘 3 軸 MEMS 加速度センサの検討, 第12回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2020.
• 内山晃宏, 市川 崇志, 古賀 達也, 町田 克之, 益 一哉, 石原昇, 飯田 慎一, 伊藤 浩之. Au錘一軸MEMS加速度センサの差動容量型電極構造の検討, 第12回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2020.
• 柴田滉平, 市川 崇志, 古賀 達也, 町田 克之, 益 一哉, 石原昇, 飯田 慎一, 伊藤 浩之. 高分解能単一Au 錘CMOS-MEMS 加速度センサの検討, 第12回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2020.
• 内山晃宏, 市川 崇志, 古賀達也, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. マイクロGレベルセンシングのための金錘1軸差動容量型MEMS加速度センサ, 第81回 応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2020.
• 市川崇志, 渥美賢, 古賀達也, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. 100 nG/√Hzレベルを目指したピラー型電極を有する単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討, 第81回 応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2020.
• 本田優斗, 田中佐和子, 崔容俊, 野田俊彦, 高橋一浩, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 伊藤浩之, 二階堂靖彦, 齋藤光正, 吉田眞一. フォトゲート型蛍光センサによるレジオネラ属菌の識別方法の検討, 令和2年度E部門総合研究会, July 2020.
• 市川 崇志, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討, 第67回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2020.
• 渥美 賢, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討, 第67回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2020.
• 伊藤浩之, 古賀達也, 市川崇志, 山根大輔, 石原昇, 三宅美博, 町田克之, 益一哉. 兆し計測のための高感度MEMS加速度センサ技術, 計測自動制御学会 システム・情報部門 学術講演会 2019, Nov. 2019.
• 市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 3Dピラー型Au錘MEMS加速度センサ, 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 19am3-PS3-21, Nov. 2019.
• 市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 曽根 正人, 益 一哉. Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討 (2), 第80回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2019.
• 伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 曽根正人, 三宅美博, 益一哉. MEMS加速度センサと生体計測への応用, 新化学技術推進協会 電子情報技術部会 マイクロナノシステムと材料・加工分科会 講演会, May 2018.
• 高安 基大, 古賀 達也, 辻 一平, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 傾斜を用いた1mG MEMS加速度センサの分解能評価の検討, 平成30年 電気学会 全国大会, Mar. 2018.
• Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone. Enhanced Mechanical Strength of Ti-Au Bi-Layered Micro-Cantilever for MEMS Accelerometers, 第64回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2018.
• 古賀 達也, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討(2), 第64回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2018.
• 町田 克之, 益一哉. 集積化CMOS-MEMS技術の課題と展望, 第64回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2018.
• 新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉. 高感度MEMS加速度センサのBrownian Noise評価に関する検討, 第64回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2018.
• 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉, 飯田 慎一. 積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの封止環境における温度依存性, 第64回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2018.
• 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 曽根 正人, 三宅 美博, 益 一哉. 集積化CMOS-MEMS技術による高感度慣性センサと応用システム, 第64回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2018.
• 新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 佐布 晃昭, 小西 敏文, 道正 志郎, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 単一Au錘3軸差動MEMS加速度センサの検討, 平成30年電気学会全国大会, Mar. 2018.
• 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術を用いた高感度MEMS慣性センサの傾斜計応用の検討, 第78回 応用物理学会 秋季学術講演会, Sept. 2017.  公式リンク  
  
• 古賀 達也, 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術によるMEMS慣性センサの傾斜時感度特性の検討, 第78回 応用物理学会 秋季学術講演会, Sept. 2017.  公式リンク  
  
• 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 金めっきで形成したMEMS加速度センサの長期振動特性に関する検討, 第78回 応用物理学会 秋季学術講演会, Sept. 2017.  公式リンク  
  
• 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉. MEMS加速度センサ用高分解能容量検出回路, 第78回 応用物理学会 秋季学術講演会, Sept. 2017.
• 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術を用いた高感度MEMS傾斜計の検討, 第8回 集積化MEMS技術研究ワークショップ, July 2017.  公式リンク  
  
• 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉. MEMS加速度センサ用高分解能容量検出回路の評価, 第8回 集積化MEMS技術研究ワークショップ, July 2017.
• 曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, Chun-yi Chen, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉. 非侵襲性高感度医用デバイスのための貴金属材料の作製とその材料評価, 第63回 国立大学共同利用・共同研究拠点 知の拠点セミナー, 第63回 国立大学共同利用・共同研究拠点 知の拠点セミナー, June 2017.
• 高安 基大, 權田 惇晟, 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 人体振動測定のためのMEMS慣性センサを用いたモジュールの検討, LSIとシステムのワークショップ2017, May 2017.
• 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 中島 英亮, 寺西 美波, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. 積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価（１）, 応用物理学会 2017年春季講演会, 応用物理学会 2017年春季講演会, p. 14p-P3-14, Mar. 2017.
• 權田 惇晟, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 移動体制御による慣性センサ評価系の構築, 第64回応用物理学会春季学術講演会, p. 14p-P3-19, Mar. 2017.  公式リンク  
  
• 高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討, 第64回 応用物理学会 春季学術講演会, Mar. 2017.
• 飯塚知希, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 振動型エネルギーハーベスティングデバイスのためのSPICE系統合設計の検討, 第64回応用物理学会春季学術講演会, p. 14p-P3-13, Mar. 2017.  公式リンク  
  
• 鈴木 拓真, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人. 積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの温度依存性のシミュレーションの検討, 応用物理学会 2017年春季講演会, 応用物理学会 2017年春季講演会, p. 14p-P3-11, Mar. 2017.
• 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之. 積層メタル技術による3軸MEMS加速度センサのばね定数設計方法, 応用物理学会 2017年春季講演会, 応用物理学会 2017年春季講演会, p. 14p-P3-17, Mar. 2017.
• 小西敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. 積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサにおける粘性定数の検討, 応用物理学会 2017年春季講演会, 応用物理学会 2017年春季講演会, p. 14p-P3-16, Mar. 2017.
• 中島 英亮, Chang Tso-Fu Mark, 陳 君怡, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人. 積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価（2）, 応用物理学会 2017年春季講演会, 応用物理学会 2017年春季講演会, p. 14p-P3-15, Mar. 2017.
• 橘 航一朗, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人. 積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの疲労特性の検討, 応用物理学会 2017年春季講演会, 応用物理学会 2017年春季講演会, p. 14p-P3-12, Mar. 2017.
• 山根大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. 積層メタル差動型MEMS加速度センサの基礎検討, 第77回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 14p-P5-3, Sept. 2016.  公式リンク  
  
• 小西 敏文, 山根大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. CMOS-MEMS慣性センサにおける機械的ノイズの解析手法, 第77回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 14p-P5-1, Sept. 2016.  公式リンク  
  
• 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之. 積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法（I）, 第77回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 15p-B10-8, Sept. 2016.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ, 第77回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 14p-P5-2, Sept. 2016.  公式リンク  
  
• 高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価, LSIとシステムのワークショップ2016, May 2016.
• 小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 年吉 洋, 曽根正人, 益 一哉, 町田克之. 積層メタル構造を用いた MEMS 加速度センサのストッパーのロバスト性検討, 第63回応用物理学会春季学術講演会, pp. 21p-P17-17, Mar. 2016.
• 山根大輔, 小西敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之. Sub-1G検出へ向けた積層メタル3軸加速度センサの基礎検討, 電子情報通信学会2016年総合大会, pp. C-10-16, Mar. 2016.
• リュウ アンキ, 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. CMOS低雑音オペアンプ設計法の検討, 電子情報通信学会2016年総合大会, pp. C-12-13, Mar. 2016.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西敏文, 伊藤浩之, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之. Sub-1G 検出へ向けた CMOS-MEMS 加速度センサの検討, 第63回応用物理学会春季学術講演会, pp. 21p-P17-18, Mar. 2016.
• 西村 祐典, 石田 誠, 澤田 和明, 石井 仁, 町田 克之, 益 一哉, 王 常楽, 飯田 健一郎, 齋藤 光正, 吉田 眞一. ビーズを用いたPDMS製細菌捕獲チップの検討? -紫外光照射によるレジオネラの光応答の観測-, 第76回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 14a-1C-10, Sept. 2015.
• 佐布晃昭, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根正人, 益 一哉, 町田克之. MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価, 第76回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 15a-PB4-3, Sept. 2015.
• 小西敏文, 山根大輔, 高安基大, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 益 一哉, 年吉 洋, 町田克之. ゲイン制御型CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討, 第76回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 15a-PB4-2, Sept. 2015.
• 山根大輔, 小西敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之. Sub-1G?20G集積化MEMS加速度センサの基本評価, 第76回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 15a-PB4-3, Sept. 2015.
• 寺西美波, Tso-Fu Mark Chang, 小西敏文, 松島隆明, 町田克之, 年吉 洋, 山根大輔, 伊藤浩之, 益 一哉, 曽根正人. 電解金めっきで作製したMEMSデバイスにおける動作構造安定性, 応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ, p. 7, July 2015.
• 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 亀井 将太, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. 慣性センサを用いた移動体制御の基礎検討, 平成27年 電気学会 センサ・マイクロマシン部門総合研究会, July 2015.
• 寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉, 曽根正人. 電解金めっきで作製した微小カンチレバーの形状安定性評価, 平成27年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, pp. 15-18, July 2015.  公式リンク  
  
• 西村祐典, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 益一哉, 王常楽, 飯田健一 郎, 齋藤光正, 吉田眞一. マイクロ流路内でのレジオネラ属菌のストレス応答, 平成27年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, July 2015.  公式リンク  
  
• 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. MEMS慣性センサを用いた移動体制御の検討, 第6回 集積化MEMS技術研究ワークショップ, July 2015.
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• 西村 祐典, 林 隆平, 中澤 寛一, 石田 誠, 澤田 和明, 石井 仁, 町田 克之, 益 一哉, 王 常楽, 飯田 健一郎, 齋藤 光正, 吉田 眞一. ビーズを用いたPDMS製細菌捕獲チップの検討? -各種細菌の蛍光強度特性の時間依存性-, 第62回応用物理学会春季学術講演会, pp. 12-128, Mar. 2015.
• 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田克之. エネルギーハーべスティングデバイスの検討（5）, 第62回応用物理学会春季学術講演会, p. 12-125, Mar. 2015.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. Sub-1Gから20Gまで検知可能な集積化MEMS加速度センサの検討, 第62回応用物理学会春季学術講演会, p. 17-189, Mar. 2015.  公式リンク  
  
• 松島隆明, 小西敏文, 山根大輔, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之. 積層メタル構造による３軸加速度センサの検討, 第７５回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 13-066, Sept. 2014.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田克之. エネルギーハーべスティングデバイスの検討（４）, 第７５回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 13-067, Sept. 2014.  公式リンク  
  
• 西村 祐典, 林 隆平, 中澤 寛一, 石田 誠, 澤田 和明, 石井 仁, 町田 克之, 益 一哉, 飯田 健一郎, 齋藤 光正, 吉田 眞一. ビーズを用いたPDMS製細菌捕獲チップの検討? -蛍光強度の時間依存性 蛍光強度の時間依存性-, 第75回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 13-101, Sept. 2014.
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• 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田克之. マルチフィジックスシミュレータを用いたCMOS-MEMS加速度センサの検討, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第５回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ, pp. P7, July 2014.  公式リンク  
  
• 西村 祐典, 林 隆平, 中澤 寛一, 石田 誠, 澤田 和明, 石井 仁, 町田 克之, 益 一哉, 王 常楽, 飯田 健一郎, 齋藤 光正, 吉田 眞一. マイクロビーズとPDMS製マイクロ流路を用いたレジオネラ菌捕獲チップの検討, 応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ, p. 8, July 2014.
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• 山根大輔, 亀井将太, 小西敏文, 松島隆明, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之. 集積化CMOS-MEMS加速度センサへ向けたsub-1Gセンサ, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第５回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ, pp. P4, July 2014.  公式リンク  
  
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• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. Sub-1G MEMS加速度センサの検討, 第６１回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2014.  公式リンク  
  
• 伊藤浩之, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 石原 昇, 町田克之, 益 一哉. RF受信機のためのアレイ型MEMS共振器ミキサの検討, 第６１回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2014.  公式リンク  
  
• 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. エネルギーハーベスティングデバイスの検討（２）, 第６１回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2014.  公式リンク  
  
• 松島隆明, 小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサ-２軸ＭＥＭＳ加速度センサの検討-, 第６１回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2014.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. MEMS加速度センサによるSub-1G検出の基礎検討, 平成２６年電気学会全国大会, Mar. 2014.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 町田克之, 益 一哉, 年吉 洋. CMOSとMEMS集積のためのシミュレーション解析-集積化CMOS-MEMSデバイス実現に向けて-, 電子情報通信学会 シリコン・フォトニクス研究会, SIPH2013-99, Oct. 2013.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 丸山智史, 加賀谷 賢, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. 集積化CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討, 第７４回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A（ＭＥＭＳ、ＮＥＭＳの基礎と応用：異種機能集積化）, pp. 18p-P11-3, Sept. 2013.
• 椎野雄介, 藤原琢, 伊藤浩之, 石原昇, 山内悠, 田邉裕貴, 野村聡, 小西敏文, 町田克之, 益一哉. ISFETを用いたワイヤレスpHモニタリング用低電力FM送信IC, 電子情報通信学会2013ソサイエティ大会, C-12-24, Sept. 2013.  公式リンク  
  
• 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 佃 真文, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. エネルギーハーベストデバイスの検討(1), 第７４回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 18p-P11-5, Sept. 2013.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 加賀谷 賢, 佃 真文, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサの基本特性評価, 第７４回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A（ＭＥＭＳ、ＮＥＭＳの基礎と応用：異種機能集積化）, pp. 18p-P11-4, Sept. 2013.
• 佃 真文, 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 加賀谷 賢, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサの基礎検討, 平成２５年度電気学会センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会, pp. MSS-13-001, Aug. 2013.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 加賀谷 賢, 佃 真文, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. 金メッキ集積化CMOS-MEMSによるアレイ型加速度センサの小型化, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第４回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ, July 2013.
• 小西敏文, 丸山智史, 山根大輔, 松島隆明, 町田克之, 益 一哉, 年吉 洋. 回路シミュレータを用いた集積化CMOS-MEMSのための統合設計環境の構築, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第４回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ, July 2013.
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 本橋 剛, 加賀谷 賢, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益一哉. アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサの検討, 第６０回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションＬ（ＭＥＭＳ、ＮＥＭＳの基礎と応用：異種機能集積化）, Mar. 2013.
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• 山根大輔, 本橋剛, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉. アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討, July 2012.
• 勝部恭平, 林隆平, 辛永式, 中澤寛一, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 王常楽, 竹川雄太, 飯田健一郎, 齋藤光正, 藤井潤, 吉田眞一. 集積化ＭＥＭＳ技術による細菌迅速診断チップの開発, 応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催 第3回集積化MEMS技術研究ワークショップ, July 2012.
• Youngshik Shin, Katsube Kyohei, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada, Hiromu Ishii, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Kenichiro Iida, Mitsumasa Saito, Mitsumasa Fujii, Shinichi Yoshida. Fabrication of microfluidic device for the bacteria observation, 2012年春季第59 回応用物理学関係連合講演会, Mar. 2012.  公式リンク  
  
• 勝部恭平, 辛永式, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 飯田健一郎, 齋藤光正, 藤井潤, 吉田眞一. 細菌迅速検出用マイクロチップI‐細菌捕獲構造の製作‐, 2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会, Mar. 2012.  公式リンク  
  
• 勝部恭平, 林隆平, 辛永式, 中澤寛一, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 飯田健一郎, 齋藤光正, 藤井潤, 吉田眞一. 細菌迅速検出用マイクロチップ? ‐細菌の捕獲状態と蛍光強度‐, 2012年春季第59 回応用物理学関係連合講演会, Mar. 2012.  公式リンク  
  
• 林隆平, 勝部恭平, 中澤寛一, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 飯田健一郎, 齋藤光正, 藤井潤, 吉田眞一. 細菌迅速検出用マイクロチップ? ‐蛍光色素を用いた細菌検出条件の検討‐, 2012年春季第59 回応用物理学関係連合講演会, 2012.  公式リンク  
  
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• 勝部 恭平, 辛 永式, 石田 誠, 澤田 和明, 石井 仁, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉, 飯田 健一郎, 齋藤 光正, 藤井 潤, 吉田 眞一. 細菌迅速検出用マイクロチップII ‐蛍光強度の細菌濃度依存性‐, 第72 回応用物理学会学術講演会, 第72 回応用物理学会学術講演会 講演予稿集（2011 秋 山形大学）, 応用物理学会, p. 22-016, Aug. 2011.
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• 藤原 琢, 石原 昇, 天川 修平, 山内 悠, 田邉 裕貴, 野村 聡, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉. ISFETを用いたワイヤレスpHセンシング用低電力FM送信IC, 2010 年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会, 2010 年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会, 2010 年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会, pp. 111, Sept. 2010.
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特許など

• 曽根正人, Tso-Fu Mark Chang, 陳君怡, 町田克之, 山根大輔, 伊藤浩之, 益一哉. 貴金属またはその合金の微細結晶組織を有する金属材料. 特許. 公開. 国立大学法人東京工業大学. 2018/12/21. 特願2018-239826. 2020/07/02. 特開2020-100874. 2020.
• 益一哉, 町田克之, 山根大輔, 伊藤浩之, 佐布　晃昭　, 小西　敏文　, 飯田　慎一　. 微細素子. 特許. 登録. 国立大学法人東京工業大学, エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社. 2018/05/29. 特願2018-102096. 2019/12/05. 特開2019-207133. 特許第7002732号. 2022/01/05 2022.

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